加速度傳感器,包括由硅膜片、上蓋、下蓋,膜片處于上蓋、下蓋之間,鍵合在一起;一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上,并采用壓焊工藝引出導(dǎo)線;工業(yè)現(xiàn)場測振傳感器,主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應(yīng)得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場典型采用IEPE型加速度傳感器,及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器,傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號。
7503D4三軸可變電容加速度傳感器
目前的三軸加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理,產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化,通過相應(yīng)的放大和濾波電路進行采集。這個和普通的加速度傳感器是基于同樣的一個原理,所以在一定的技術(shù)上三個單軸可以變成一個三軸。對于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來看,兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用。但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備,貴重資產(chǎn)監(jiān)測,碰撞監(jiān)測,測量建筑物振動,風(fēng)機,風(fēng)力渦輪機和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動。
7503D4三軸可變電容加速度傳感器