真空鍍膜冷凍機(jī)的工作原理和工藝特點(diǎn)
(1)真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜體分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光,所以需要在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,果如真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤結(jié)合力也很差。
(2)中頻設(shè)備需要加冷卻水,原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應(yīng),電荷會(huì)在電導(dǎo)有表面積,這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。
(3)為什么也要用水冷卻?磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫會(huì)使射變形,所以它有一個(gè)水套來(lái)冷卻射。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好。
從更深層次研究電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對(duì)稱性是磁約束的本質(zhì)原因。磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好、裝置性能穩(wěn)定。
(3)冷水機(jī)是一種水冷卻設(shè)備,能提供恒溫、恒流、恒壓的冷卻水設(shè)備。其工作原理是先向機(jī)內(nèi)水箱注入一定量的水,通過(guò)制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入需冷卻的設(shè)備,冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達(dá)到冷卻的作用。
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真空鍍膜冷凍機(jī),工作原理和工藝特點(diǎn)
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