可兼容DC測(cè)試、射頻、高頻、微波測(cè)試
直流到高頻
產(chǎn)品特點(diǎn):
XY高精度大行程平臺(tái)調(diào)節(jié),Z軸快速升降,U型面板設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定
可搭配體式顯微鏡/高倍率長(zhǎng)工作距離視頻顯微鏡/高分辨率金相顯微鏡、熒光顯微鏡等…
探針座可根據(jù)移動(dòng)精度選擇,吸附方式可選磁吸附或真空吸附
顯微鏡組件帶有XYZ三方向調(diào)節(jié)裝置,配置連接組件,可安裝各類顯微鏡主體
可升級(jí)半自動(dòng)系統(tǒng)
產(chǎn)品規(guī)格:
組件/型號(hào) | APS200 |
顯微鏡配置 | 高倍率金相顯微鏡 目鏡:10X/20X 配置物鏡:5X/10X/20X/50X/100X 其它功能可選,詳見顯微鏡參數(shù)介紹 |
真空吸附卡盤 | 8寸不銹鋼 200mm |
主體平臺(tái)XY移動(dòng)行程 | 200mm*200mm |
顯微鏡位移臺(tái)行程 | 25mm*25mm |
旋轉(zhuǎn)角度 | 0-30O |
Z軸行程 | 5mm |
探針臺(tái)本體 | 固定式 |
可放置樣品尺寸 | 5mm*5mm至200mm(8寸) |
真空卡盤平坦度 | 10um |
尺寸 | 660mm*660mm*700mm |
重量 | 80kgw |
配置可選項(xiàng):
* 體式顯微鏡/高倍率超長(zhǎng)工作距離視頻顯微鏡/高分辨金相顯微鏡
* 真空吸附加熱卡盤(溫度:200℃/300℃或其它)
* 可選低溫制冷卡盤
* 低溫罩箱(用于充入氮?dú)獾蜏刂评洌?span>
* 客戶定制化移動(dòng)平臺(tái)
* 氣壓式顯微鏡升降調(diào)節(jié)
* 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
* 低電容、電流探測(cè)裝置
* 高電壓探測(cè)裝置
* 雷射切割裝置
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
* 各類探針夾具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 適配器
* 轉(zhuǎn)接頭
* 電學(xué)測(cè)試設(shè)備
* 其它外圍組件