型號 WUD-20, WUD-25, WUD-26應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)超純氣體
型號 WUD-20, WUD-25, WUD-26功能特性
高精度壓力測量0.15 % RSS
的長期穩(wěn)定性
信號降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測量
主動溫度補(bǔ)償
描述
可靠
WUD-2x系列超高純度傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合，能夠?yàn)楫?dāng)前市場需求提供、確的壓力測量。
基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術(shù)，確保了高精度壓力測量以及優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。
主動溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器 采用特別設(shè)計，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
配備2個可編程開關(guān)輸出，可針對具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x是市面上的UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。
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