系統(tǒng)參數(shù):
◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀。
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器。
◆物鏡: 1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距離分別有標(biāo)準(zhǔn)/長焦/超長焦詳見物鏡參數(shù)表。
◆物鏡座選件: 電動4位塔臺可選。
◆視場放大倍數(shù):高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5X,1.0X,2.0X。
◆成像放大視場:電動3位系統(tǒng)成像放大0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范 圍。
◆光源: 特殊設(shè)計長壽命白光LED。
◆控制:濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦)。
◆測量陣列:1600×1600。
◆樣件觀察:專用液晶顯示屏實(shí)時觀察。
◆精密聚焦:電控手動和自動聚焦
◆Z 軸驅(qū)動(聚焦):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,100mm行程,0.1um的精度
◆樣品臺: 電動,俯仰±3°和XY平移(±76mm)
◆計算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL計算機(jī)
◆軟件: 在Microsoft Windows7下運(yùn)行的ZYGO Mx軟件
◆尺寸(HWD): 總尺寸:151×73×61cm; newview:75x64x56cm; 防震臺:76x61x61cm
◆總重量: 約229Kg; newview:約91Kg
性能:
◆縱向掃描范圍:150 um,可擴(kuò)展到20mm
◆縱向分辨率:<0.08nm
◆橫向分辨率:0.34-16.42um 與所選物鏡有關(guān)
◆掃描速度: ≥150 um/sec,與所選的CCD和掃描模式有關(guān)
◆RMS重復(fù)性:<0.008nm, RMSσ
◆臺階測量:準(zhǔn)確度 ≤ 0.8%;重復(fù)性≤0.1%@1σ
被測樣品特性:
◆材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆尺寸(HWD):89 x 203 x 203mm 或更大
◆反射率:0.05%-99%
環(huán)境要求:
◆溫度: 15-30℃ <1.0°C/15 分鐘
◆濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結(jié)
◆隔振:需要隔離 1-120Hz 的振動(VC-C)