系統(tǒng)參數(shù):
◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 長(zhǎng)范圍 Z 軸調(diào)節(jié)
◆物鏡: 1X - 50X 放大:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長(zhǎng)工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見(jiàn)物鏡參數(shù)表
◆視場(chǎng): 跟所選物鏡有關(guān)
◆光源: 長(zhǎng)壽命白光 LED,計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)
◆物鏡安裝:直接螺紋安裝(標(biāo)配);單物鏡楔形座安裝(選配);手動(dòng)或電控 4 位物鏡塔臺(tái)(選配)
◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
◆測(cè)量陣列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
◆樣件觀察: Mx 軟件集成實(shí)時(shí)觀察
◆Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,以優(yōu)化工作距離
◆樣品臺(tái)控制: USB 控制器
◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能
◆樣品臺(tái): 手動(dòng),俯仰傾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(標(biāo)配) 手動(dòng)型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);電動(dòng)型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
◆計(jì)算機(jī): i5 級(jí)別 PC,23 寸顯示器 1080p
◆軟件: ZYGO Mx 軟件,Windows7(64 位)
◆尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm
◆重量: ZeGage Plus主機(jī):54Kg; 工作臺(tái):37Kg
性能:
◆縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
◆表面形貌重復(fù)性:<0.15nm
◆光學(xué)分辨率(橫向):0.52um (50x 物鏡)
◆空間采樣: 0.17um(50x 物鏡)
◆掃描速度: ≤ 73 um/秒
◆臺(tái)階高度重復(fù)性:≤0.3%@1σ
◆臺(tái)階精度: ≤ 3%
被測(cè)樣品特性:
◆材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)頭位置;147 x 100 x 100mm 主機(jī)頭加高采用局部覆蓋放置可以測(cè)試更大的樣品
◆反射率:0.05%-99%
環(huán)境要求:
◆溫度: 15-30℃ <1.0°C/15 分鐘
◆濕度: 相對(duì)濕度 5%-95%,無(wú)凝結(jié)
◆隔振: 包含隔振,要求隔離 1-120Hz 振動(dòng)
◆振動(dòng)準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦