規(guī)格:
CV-2100M4 | CV-2100N4 | ||
測量范圍 | X軸 | 100mm | |
Z1軸 (檢出器) | 50mm | ||
上下移動量 (Z軸立柱) | 350mm | — | |
X軸傾角范圍 | ±45o | ||
分辨力 | X軸 | 0.1μm | |
Z1軸 | 0.1μm | ||
驅(qū)動方式 | X軸 | 電動 (0 - 20mm/s) | |
上下移動 (Z軸立柱) | 手動 (快速上下動、微動) | — | |
測量速度 | 0.02~5mm/s | ||
直線精度 (X軸水平位置時) | 2.5μm/100mm | ||
指示精度 | X軸 | ± (2.5+0.02L) μm L:測量長度 (mm) | |
(20oC) | Z1軸 | ±(2.5+|0.1H|) μm H=為水平位置上的測量高度±25mm以內(nèi) | |
測量方向 | 向前/向后 | ||
測量面方向 | 向下 | ||
測力 | 30±10mN (3gf) | ||
測針跟蹤角度(以標準配件測針為例) | 向上77o、向下87o (根據(jù)表面粗糙度而定) | ||
尺寸 (幅度×深度×高度) | 745×450×885mm | 651×143×138.5mm | |
重量 | 145.8 kg | 5.8 kg |