金相顯微鏡產品介紹
暗視場可以讓用戶觀察來自樣本散射和衍射的光線。光源的光線會先穿過照明裝置中的環(huán)形光學照明器件,然后在樣本上聚焦。樣本上的光線只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此,用戶可以觀測到比光學顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級的微小劃痕和缺陷。暗視場適合檢測樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本,包括晶圓。
偏振光觀察法
該顯微觀察技術所使用的偏振光是由一組濾鏡(檢偏振器和起偏振器)產生的。樣本特征會直接影響系統(tǒng)反射光的強度。該觀察法適用于觀察金相組織(例,球墨鑄鐵中石墨的生長圖案)、礦物、LCD 和半導體材料。
微分干涉(DIC)觀察法
DIC 是一種顯微觀察技術,可以將明視場觀察法中無法檢測到的高度差異,用增強的對比度以浮雕或三維圖像的形式表現(xiàn)出來。該項基于偏振光的技術,擁有三個專門設計的棱鏡可供選擇以滿足用戶的需求。該觀察法適用于檢測高度差異極其微小的樣本,包括金相組織、礦物、磁頭研磨面和硬盤表面及晶圓研磨面。
熒光觀察法
半導體晶圓上的顆粒
該項技術適用于觀察那些在受到專門設計的濾鏡(可以按照檢測需要制作)照明時會發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長的光線)的樣本。該方法通過熒光染色,應用于觀測半導體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘渣和裂痕的檢測??梢蕴砑舆x購的復消色差光源聚光透鏡系統(tǒng),從而為可見光到近紅外線范圍內的色差進行補償。
IR(紅外線)觀察法
硅晶片層下的半導體電路
對使用了硅片、玻璃等易透射紅外線的電子設備的內部進行無損檢測時,IR 觀察十分有效。IR 物鏡也可用于近紅外線技術,如:拉曼光譜儀和YGA 激光修復應用。
處理濾鏡
OLYMPUS Stream 擁有各種濾鏡,可用于邊緣檢測、平滑處理和其它操作。使用處理濾鏡在拍攝的圖像上進行增強和修改處理后,圖像的特征變?yōu)榭梢暬檫_到效果,可使用預覽圖檢查或調整濾鏡的效果。
透射光觀察法
LCD彩色濾鏡
對于透明樣本,如,LCD、塑料和玻璃材料,可通過使用各種透射光聚光鏡實現(xiàn)真正的透射光觀察。使用透射光可以在明視場、暗視場、DIC 和偏振光中對樣本進行成像和檢查--所有這些都在一個便捷的系統(tǒng)里。
自動制作3D 圖像(EFI)
硬幣細節(jié)
使用BX61 或外部電動調焦單元,便可以快速地記錄并組合超出焦深之外的樣本的圖像。只需一鍵操作,使用EFI 功能便可以將各個不同焦深的圖像合成一幅3D 圖像。最終的3D數(shù)據可用于3D 觀察或用于測量高度和距離。
金相顯微鏡技術參數(shù)
BX61 | BX51 | BX51M | BX41M-LED | |||||
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正) | |||||||
機身 | 照明裝置 | 反射/透射 | 反射 | 反射(對應ESD功能) | ||||
外置12 V 100 W光源 | 內裝12 V 100 W光源 | 內裝12 V 100 W光源 | 內裝3 W白色LED光源 | |||||
對焦單元 | 電動調焦 | 行程25 mm | ||||||
標本高度 | 25 mm(不包含臂長調節(jié)器) | 65 mm(不包含臂長調節(jié)器) | ||||||
觀察筒 | 廣角視場 | 倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒 | ||||||
超寬視場 | 倒置∶三目鏡筒 | |||||||
反射光 | 明視場等 | BX-RLAA | BX-RLA2 | BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED | ||||
反射光 | BX-RFAA | BX-URA2 | ||||||
透射光照明裝置 | 100 W鹵素燈 | - | ||||||
物鏡轉換器 | 明視場用 | 電動六孔 | 六孔、中心輸出六孔、七孔(電動物鏡轉換器選購件) | 五孔、六孔(對應ESD功能)、七孔 | ||||
明/暗視場用 | 電動五孔、電動六孔、中心輸出五孔 | 五孔、中心輸出五孔、六孔(電動物鏡轉換器選購件) | - | |||||
載物臺 | 帶左手(右手)用同軸驅動旋鈕的載物臺:76 (X) × 52 (Y) mm,張力可調 | |||||||
ESD性能 | - | 表面電阻108Ω以下,放電時間少于0.2秒* | ||||||
外形尺寸 | 約318(寬) × 602(長)× 541(高) mm | 約318(寬) × 602(長) × 480(高)mm | 約318(寬) × 602(長) × 480(高)mm | 約283(寬) × 455(長) × 480(高)mm | ||||
重量 | 約25.5 kg | 約20.8 kg | 約19.5 kg | 約14 kg | ||||
BXFM | BXFM-S | |||||||
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正) | |||||||
機身 | 對焦單元 | 行程30 mm、微調旋鈕1圈的微調行程為200 μm、最小刻度單位2 μm、粗調旋鈕張力可調 | ||||||
觀察筒 | 廣角視場 | 倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒 | ||||||
超寬視場 | 倒置∶三目鏡筒 | |||||||
反射光 | 明視場等 | BX-RLA2 | U-KMAS | |||||
反射光 | BX-URA2 | - | ||||||
物鏡轉換器 | 明視場用 | 六孔、中心輸出六孔、七孔(電動物鏡轉換器選購件) | ||||||
明/暗視場用 | 五孔、中心輸出五孔、六孔轉盤(電動物鏡轉換器選購件) | |||||||
外形尺寸 | 約248 (寬) × 587 (長) × 249 (高) mm | 約394 (寬) × 334 (長) × 276 (高) mm | ||||||
重量 | 約9 kg(標準組合) | 約6.2 kg (標準組合) | ||||||
金相顯微鏡標準配置
主機;光學系統(tǒng);照明裝置;對焦單元;觀察筒;目鏡;物鏡;物鏡轉換器;
金相顯微鏡可選配件
目鏡筒:雙目;三目;傾斜式雙目;傾斜式三目;
物鏡轉換器:5孔;6孔;
照明裝置:透射光;反射光;