晶圓高低溫系統(tǒng)

設(shè)備簡(jiǎn)介

PTXF系列高溫循環(huán)器主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設(shè)備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清顯示屏，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

設(shè)備特點(diǎn)

全密閉系統(tǒng)：采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計(jì)，整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導(dǎo)熱油不會(huì)直接與空氣接觸，延長(zhǎng)了導(dǎo)熱油使用壽命同時(shí)確保系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時(shí)無(wú)油霧產(chǎn)生。

高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統(tǒng)的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積）     

控制結(jié)果重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，同時(shí)采用進(jìn)口鉑電阻溫度傳感器，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

產(chǎn)品外觀：外觀設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，采用大口徑石英玻璃液位計(jì)，液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè)，觀察方便，風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚，比列協(xié)調(diào)，專有的色彩搭配。

超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿足在350℃高溫直接通入冷卻水實(shí)現(xiàn)快速降溫。

質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn)，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題。