轉動式PECVD系統(tǒng)設備是由洛陽西格馬生產(chǎn)的可360度旋轉和0-30度傾斜的可傾斜管式爐PEcvd設備?；鞖庀到y(tǒng)可選二路、三路、五路。
PEcvd可傾斜回轉爐采用雙層殼體結構，標配30段程序控溫系統(tǒng)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，能快速升降溫。該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測用的燒結設備產(chǎn)品。
轉動式PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品描述：
轉動式PECVD系統(tǒng)可360度旋轉和0-30度傾斜，管內壁有石英擋片幫助材料翻轉有助于燒結或鍍膜更加均勻。爐膛采用日本氧化鋁纖維材料。
轉動式PECVD系統(tǒng)技術參數(shù)：
1、型號：SGM RTL1200-PECVD
2、爐管尺寸：Dia60(OD)X1400mm
3、加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲
4、額定溫度：1200℃
5、長期溫度：1100℃
6、熱電偶：K型
7、加熱段：440mm
8、轉動電機功率：40W
9、爐子傾斜角度：-10~30度
10、轉動密封方式：采用轉動磁流體密封
11、視頻電源：功率輸出范圍0-500W
12、更大反射功率：10W
13、射頻電信號頻率：13.56MHZ±0.005%
14、功率：3.5KW
西格馬回轉爐結構特點：
一、控溫儀表：采用宇電程序控溫儀表。（可選配日本島電，英國歐陸等品牌）
1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。（可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表）
2、具有過溫保護、斷偶保護，過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。
3、帶有485通訊接口（選購軟件時標配）
4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。
二、開門保護系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者。
三、爐膛材料：采用氧化鋁多晶纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。
四、加熱元件：采用優(yōu)良的加熱元件，溫場均衡、使用壽命長。
五、漏電保護功能：該爐裝了漏電空氣開關，當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關閉以切斷電源。
六、軟件控制系統(tǒng)（選購）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調出。
七、控制系統(tǒng)：
1、電器：正泰，
2、可控硅：德國西門康106/16E，
3觸發(fā)器：移相觸發(fā)。
八、選配件：
1、50段程序控溫，
2、液晶觸摸屏控制器或溫度控制器
3、爐膛尺寸可定做
4、可增加進氣、排氣閥門
5、爐膛材料可選材料6、可選UL認證電器板
7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品
8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標型號產(chǎn)品
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