一、用途與特點(diǎn)
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、工作原理
CF系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
產(chǎn)品詳情介紹
? 主要技術(shù)指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo) | 大量程氣體質(zhì)量流量計(jì) | 大量程氣體質(zhì)量控制器 | ||||
量程范圍 | 300SLM~1000SLM | 1000SLM~2000SLM | 2000SLM~3000SLM | 300SLM~1000SLM | 1000SLM~2000SLM | 2000SLM~3000SLM |
量程比 | 100：1 | 50：1 | ||||
精度 | ±1.0%F.S | |||||
線性 | ±0.5~1.5%F.S | |||||
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |||||
響應(yīng)時(shí)間 | ＜1.5S | ＜2S | ||||
模擬量輸出 | 0-5V 或4-20mA | |||||
數(shù)字量輸出 | RS232/485 MODBUS協(xié)議 | |||||
供電 | ±15VDC 或24VDC | |||||
工作壓力 | 工作壓降＜0.01Mpa | 工作壓差：0.01~0.5MPa | ||||
耐壓 | 3MPa 可定制10MPa | |||||
漏率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
工作溫度 | 0~50℃ | |||||
底座材質(zhì) | 316L不銹鋼 | |||||
密封材質(zhì) | 氟橡膠、丁晴橡膠、氯丁橡膠、聚四氟乙烯 | |||||
接頭 | 可選配卡套、快插、寶塔接頭 | |||||
注意：
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 滿量程值
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