測(cè)量原理 測(cè)針接觸式
測(cè)量長(zhǎng)度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測(cè)量范圍 Z 方向 50mm適用于350mm測(cè)臂;25mm適用于175mm測(cè)臂
測(cè)量系統(tǒng)(Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測(cè)針?lè)直媛? Z 方向) 0.19 um /175mm測(cè)臂
系統(tǒng)分辨率(Z方向) 0.04 um
直線度誤差(X方向): < 1um/120mm
X/Z方向定位精度 1 um
測(cè)力 1mN to 120mN
測(cè)量角度 下降角度到880, 上升角度為770
測(cè)量速度(X方向) 0.2mm/s...4mm/s
接觸速度(Z方向) 0.1mm/s to 1 mm/s
定位及返回速度(X方向) 0.2 mm/s 至 8 mm/s
定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s
驅(qū)動(dòng)器可調(diào)角度 +/-45°
測(cè)臂長(zhǎng)度 175 mm;350 mm
測(cè)針針尖半徑 25 um
角度測(cè)量誤差 U95<3.0min
半徑測(cè)量誤差 U95=±5 um R10mm-100mm
U95=±7um R100mm-1000mm
距離測(cè)量誤差 ±(2+l/50)um