產(chǎn)品介紹:
Nexview™ NX2 光學輪廓儀是為更高應(yīng)用需求設(shè)計的,集超精密、算法、應(yīng)用靈活性和自動化為一體,展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。
Nexview™ NX2 光學輪廓儀采用的是非接觸式測量技術(shù),具有亞納米測量精度(所有放大倍數(shù)下),可以更快更好地測量各種樣品表面,是一款具有非常高投資回報率的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用需求,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺階高度,適用于幾乎任何材質(zhì)表面,因此Nexview NX2是一款不容錯過的產(chǎn)品。
Nexview NX2作為一代的旗艦機型,提供更大范圍可分辨特征來實現(xiàn)讓用戶的計量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9 MP傳感器:高靈敏度,在單次測量中獲取更多的信息
? 高速測量:只需幾秒時間,優(yōu)化的測試能力和程序控制
? 自動零件聚焦和定位:減少操作員測試差異,提高培訓和測試效率
? 重復(fù)性特征:優(yōu)異的測量精度和可重復(fù)性,為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)
? 抗震計量: SureScan抗震技術(shù),在震動環(huán)境下也可實現(xiàn)高質(zhì)量的計量
? SmartPSI™技術(shù):對超光滑表面進行快速分析測量
? 2D和3D的相關(guān)性:測量結(jié)果符合ISO 25178和ISO 4287標準。
? Mx™軟件:實現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動化
? 真彩色圖像:增強可視化效果
? 可變圖像縮放:三個內(nèi)置變焦鏡頭,優(yōu)化視場以及實現(xiàn)儀器的靈活性
SiC測試結(jié)果,清晰看清水晶紋路和拋光過程痕跡
Mx 軟件界面
全自動200mm集成測試平臺
你所需要的光學輪廓儀
您不用再根據(jù)你要測量的樣品表面類型來選擇輪廓儀。Nexview NX2輪廓儀可以測量不同類型的樣品表面,包括精密拋光光學樣品表面(亞埃級sub-Angstrom表面粗糙度),到陡峭加工角度(85度)。所有測試都是三維、非接觸式測量,提供非常優(yōu)質(zhì)的測量結(jié)果。
分析&控制軟件
Nexview NX2輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件,支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析,包括豐富的交互式3D繪圖,量化的形貌信息,直觀的測量導(dǎo)航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計,質(zhì)量控制圖,通過/失敗條件設(shè)置。
? 交互式3D繪圖:縮放,平移,旋轉(zhuǎn),并實時更新結(jié)果。
? 靈活分析:一系列定量分析結(jié)果、數(shù)據(jù)視圖和過濾器。
? 直觀的用戶界面:易于學習和使用的流程界面設(shè)計。
? 內(nèi)置SPC分析工具:跟蹤結(jié)果,監(jiān)控合格和不合格的標準,跟蹤處理數(shù)據(jù)。
還有滿足特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊,如透明薄膜的樣品測量,2D圖像分析等。
自動化操作
Nexview NX2輪廓儀是電子化設(shè)備,無需手動控制,可以自動化編程序列測量多個零件,菜單化零件測量,以及零件表面大尺寸拼接測試。
簡潔,流線型設(shè)計
Nexview NX2輪廓儀有很大的工作區(qū)域,測試界面條理清晰,使測量設(shè)置和操作簡單&快速。
其200毫米自動化測量平臺是簡潔高效的工業(yè)化設(shè)計的縮影,并具有 ±4度高負載傾斜功能包含校正運算—這使得測量調(diào)整變得十分簡單,甚至對于表面特征不明顯的樣品。