特點
可評價nｍ級的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息 無需對焦，可高速測量 可非破壞?非接觸?非侵入的測量 可在任意的面進行高速掃描,輕松決定測量位置
規(guī)格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | |
| 視野 z | |
| 樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安裝通用樣品架時） |
| 樣品臺 | 微動X Y樣品臺（自動） X:±10 mm Y：±10 mm 粗動樣品臺 X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波長 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對測量樣品的照射強度) |
| 尺寸（長×寬×高）mm | 本體：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本體：2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
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測量例
將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實現(xiàn)可視化。
觀察透明薄膜內(nèi)部的填充劑
肉眼無法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑，通過一次拍照即可觀察到。此外，通過在測量后改變深度方向的焦點，可以識別到各個深度的填充劑。
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