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詳細介紹
納米壓印系統(tǒng)
型號：MicroTec
廠家：德國Karl Suss
技術指標:
壓印精度：30nm
重復性：±10nm（pitch）
±15nm（depth）
晶圓尺寸：2”, 4’’
模具尺寸：6’’
脫模方式：真空順序脫模
主要功能及應用范圍： 采用氣體軟壓技術，壓印均一性與一致性良好。典型使用領域：光子晶體、亞波長光學器件、OLED、生物微溝道、有機薄膜晶體管、漸變折射率層等。
| 南京盈波光電科技有限公司 |
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2021-07-28 12:32:53瀏覽次數(shù)：495
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