詳細(xì)介紹
二手9.5成新奧林巴斯OLS4000激光共聚焦顯微鏡,使用時(shí)間只有半年。
3D測(cè)量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規(guī)格 | ||||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正) | |||
總倍率 | 108x~17280x | |||
觀察視場(chǎng) | 2560x2560~16x16 µm | |||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/微分干涉/激光/激光微分干涉 | ||
激光 | 405 nm 半導(dǎo)體激光 | |||
白色照明 | 白色LED照明 | |||
對(duì)焦單元 | 粗調(diào)Z軸 | 行程 | 100 mm | |
樣本高度 | 100 mm | |||
細(xì)調(diào)Z軸物鏡轉(zhuǎn)換器 | 行程 | 10 mm | ||
驅(qū)動(dòng)分辨率 | 0.01 µm | |||
重復(fù)性 | σn-1=0.012 µm | |||
物鏡 | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | |||
光學(xué)變焦 | 1x~8x | |||
載物臺(tái) | 電動(dòng)載物臺(tái) | 100x100 mm | ||
外形尺寸 | 276(W)x358(D)x405(H) mm | |||
重量 | 32 kg(只包括機(jī)身) |
LEXT OLS4000 3D激光測(cè)量顯微鏡是專門(mén)為納米級(jí)影像、3D測(cè)量和粗糙度測(cè)量設(shè)計(jì)的。其倍率范圍為108x-17,280x,足以滿足現(xiàn)今所有研究人員的需求。
- 精益求精的測(cè)量性能
- 理想的操作環(huán)境
- 的粗糙度分析能力
精益求精的測(cè)量性能
輕松檢測(cè)尖銳角
采用了高N.A. 的專用物鏡及能限度發(fā)揮405 nm 激光性能的專用光學(xué)系統(tǒng),LEXT OLS4000可以精確的測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。
有尖銳角的樣品(剃刀)
LEXT 專用物鏡
克服反射率的差異
LEXT OLS4000 采用了新開(kāi)發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個(gè)共焦光學(xué)系統(tǒng),那些一直以來(lái)使用激光顯微鏡難以測(cè)量的、含有不同反射率材料的樣品,也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。
反射率有差異的樣品(金剛石電鍍工具)
雙共焦系統(tǒng)
多層模式有利于透明層的測(cè)量
過(guò)去,激光顯微鏡焦點(diǎn)的位置都會(huì)設(shè)置在樣品上反射光強(qiáng)度的區(qū)域。但是,這樣的設(shè)計(jì)有時(shí)候會(huì)很難識(shí)別透明樣品的正確形狀,因?yàn)榧す夤馐鴷?huì)直接穿過(guò)樣品。LEXT OLS4000 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域,并將各層設(shè)為焦點(diǎn),這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量,而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。
觀察/測(cè)量透明材料的上表面
一般而言,使用激光掃描顯微鏡,很難對(duì)如金屬基板上的透明膜等樣品進(jìn)行測(cè)量。而多層模式則可實(shí)現(xiàn)對(duì)此類(lèi)透明膜樣品的頂層進(jìn)行觀察和測(cè)量。
一般而言,使用激光掃描顯微鏡,很難對(duì)如金屬基板上的透明膜等樣品進(jìn)行測(cè)量。而多層模式則可實(shí)現(xiàn)對(duì)此類(lèi)透明膜樣品的頂層進(jìn)行觀察和測(cè)量。
金屬材料的表面涂層
傳統(tǒng)模式
傳統(tǒng)模式
多層模式
分析透明材料的各個(gè)層
多層模式也可以對(duì)透明樣品的各層進(jìn)行分析。例如,即使該樣品是玻璃基板上的透明樹(shù)脂涂層,也可測(cè)量出透明材料下那層的形狀和粗糙度,當(dāng)然也可以測(cè)量出表面覆膜的厚度。
多層模式也可以對(duì)透明樣品的各層進(jìn)行分析。例如,即使該樣品是玻璃基板上的透明樹(shù)脂涂層,也可測(cè)量出透明材料下那層的形狀和粗糙度,當(dāng)然也可以測(cè)量出表面覆膜的厚度。
金屬基板上的聚酰亞胺覆膜
穩(wěn)定測(cè)量環(huán)境
為了排除來(lái)自外部的影響,穩(wěn)定測(cè)量,LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"混合減震機(jī)構(gòu)"。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè),不需要專用的防震平臺(tái)。
受到來(lái)自外部的
振動(dòng)的影響
混合減震機(jī)構(gòu)減輕
振動(dòng)帶來(lái)的影響
的兩項(xiàng)性能保證
表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的,有2個(gè)指標(biāo)。一個(gè)是測(cè)量值與真正值的接近程度(正確性),另一個(gè)則是多次測(cè)量值的偏差程度(重復(fù)性)。LEXT OLS4000是世界*保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光顯微鏡
2個(gè)性能保證
OLS4000從鏡頭制造到成品全部在奧林巴斯工廠完成,并按照一系列標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格檢查后出廠。交付產(chǎn)品時(shí)的校正和最后的調(diào)整,由選拔出來(lái)的技術(shù)人員在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行。
更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凹凸
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過(guò)安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線來(lái)照射樣品。獲取由樣品直接反射回來(lái)的兩束光線的差,生成明暗對(duì)比,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察,即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
有DIC(高分子薄膜)
無(wú)DIC(高分子薄膜)
對(duì)應(yīng)大范圍觀察
在高倍率影像觀察中,視場(chǎng)范圍會(huì)變窄。LEXT OLS4000 搭載了拼接功能,最多可拼接500 幅影像,從而能得到高分辨率和廣視場(chǎng)范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此,LEXT OLS4000 還能對(duì)該廣視場(chǎng)影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測(cè)。
拼接前的影像
拼接后的亮度影像
拼接后的3D 影像
理想的操作環(huán)境
通過(guò)ID 管理來(lái)強(qiáng)化自定義和安全性
登錄系統(tǒng)畫(huà)面
操作員可以使用自己的ID 登錄系統(tǒng),對(duì)影像數(shù)據(jù)庫(kù)和操作環(huán)境進(jìn)行自定義。報(bào)告和影像上會(huì)顯示ID 號(hào)碼,這樣,誰(shuí)、何時(shí)創(chuàng)建或拍攝等信息便一目了然。此外,還可以對(duì)每個(gè)ID 設(shè)置級(jí)別,管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。
即使是初次使用者也能安心操作的向?qū)Чδ?/div>
向?qū)Чδ?/span>
自動(dòng)測(cè)量功能
宏觀圖功能
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
使用INR算法
不使用INR算法
報(bào)告用戶界面
報(bào)告完成版本
粗糙度測(cè)量畫(huà)面
LEXT OLS4000 測(cè)量所得的截面曲線,
λs=2.5 μm 未處理
LEXT OLS4000 測(cè)量所得的截面曲線,
采用λs=2.5 μm 處理
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量所得的截面曲線
LEXT OLS4000 輪廓曲線參數(shù)一覽
LEXT OLS4000 表面粗糙度測(cè)量參數(shù)一覽(符合ISO25178)
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x
激光顯微鏡
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
LEXT OLS4000 搭載了詳細(xì)的向?qū)Чδ?,即使是初次使用者也能立即操作儀器,不需要在閱讀使用說(shuō)明書(shū)或培訓(xùn)上花費(fèi)時(shí)間。也可以對(duì)向?qū)Чδ苓M(jìn)行自定義。
向?qū)Чδ?/span>
自動(dòng)測(cè)量功能* 實(shí)現(xiàn)高效連續(xù)的測(cè)量
每個(gè)對(duì)象反復(fù)進(jìn)行固定方式的測(cè)量時(shí),可以準(zhǔn)確而高效地工作。如果重復(fù)測(cè)量的次數(shù)很多,就更需要該功能了。自動(dòng)測(cè)量功能(可選項(xiàng))通過(guò)預(yù)先設(shè)置條件,從樣品的校準(zhǔn)到獲得測(cè)量結(jié)果,一系列操作都能輕松完成
* 自動(dòng)測(cè)量功能是可選功能。
* 自動(dòng)測(cè)量功能是可選功能。
自動(dòng)測(cè)量功能
不會(huì)在觀察中"迷路"的宏觀圖。
一直以來(lái),由于高倍率觀察時(shí)的視場(chǎng)變窄,經(jīng)常會(huì)有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發(fā)生。LEXT OLS4000 搭載了宏觀圖功能,始終顯示低倍率觀察時(shí)的大范圍影像,在影像上指出"現(xiàn)在在這里"。
宏觀圖功能
避免接觸和損壞樣品、自動(dòng)調(diào)整影像的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
為了避免切換物鏡時(shí)損壞樣品,LEXT OLS4000 搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。切換物鏡時(shí),物鏡轉(zhuǎn)換器自動(dòng)退避,不會(huì)接觸樣品。不僅如此,電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器還能同時(shí)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn)和影像中心,調(diào)整合適的亮度,實(shí)現(xiàn)了輕松的倍率變換操作。
能提供熟練操作者描繪水平的INR 算法
奧林巴斯根據(jù)長(zhǎng)年積累的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù),成功的在設(shè)備中嵌入了相當(dāng)于熟練操作者水平的異常值判斷基準(zhǔn)。這就是新搭載在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。
使用INR算法
不使用INR算法
實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)建報(bào)告時(shí)必需的快速和簡(jiǎn)明易懂
激光顯微鏡可以代替相關(guān)人員,快速而清楚地把觀察和測(cè)量結(jié)果制作成報(bào)告。LEXT OLS4000在測(cè)量結(jié)束后,只要一個(gè)點(diǎn)擊就可以完成創(chuàng)建報(bào)告任務(wù)。同時(shí),LEXT OLS4000 還備有充實(shí)的編輯功能,可以自由自在地定制各種報(bào)告模板。
報(bào)告用戶界面
報(bào)告完成版本
的粗糙度分析能力
將激光納入表面粗糙度測(cè)量?jī)x的標(biāo)準(zhǔn)中
粗糙度測(cè)量畫(huà)面
作為表面粗糙度測(cè)量?jī)x的新標(biāo)準(zhǔn),奧林巴斯開(kāi)發(fā)了LEXT OLS4000。對(duì)LEXT OLS4000 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正,并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣,對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來(lái)說(shuō),能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外,還搭載了粗糙度專用模式,可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離最長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。
OLS4000與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的測(cè)量截面曲線比較(截面全長(zhǎng)1.6 mm)
LEXT OLS4000 測(cè)量所得的截面曲線,
λs=2.5 μm 未處理
LEXT OLS4000 測(cè)量所得的截面曲線,
采用λs=2.5 μm 處理
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量所得的截面曲線
參數(shù)一覽
LEXT OLS4000 輪廓曲線參數(shù)一覽
LEXT OLS4000 表面粗糙度測(cè)量參數(shù)一覽(符合ISO25178)
微細(xì)粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x,無(wú)法測(cè)量比觸針的針尖直徑更細(xì)微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑,所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x
激光顯微鏡
非接觸
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí),樣品容易受到觸針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會(huì)粘在觸針上,無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡,不會(huì)被樣品的表面狀態(tài)所影響,可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品的表面粗糙度。
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
細(xì)微處也可以測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x,其觸針無(wú)法進(jìn)入微小領(lǐng)域,所以不能對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行測(cè)量。而激光顯微鏡可以正確定位,能輕松測(cè)量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。