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詳細(xì)介紹
MX61L
產(chǎn)品特點(diǎn):
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺(tái)搭載: 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 反射光照明
型號(hào) | MX61L型顯微鏡 | |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)） | |
顯微鏡鏡體 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型） 明視場/暗視場反射鏡可外加1個(gè)分光鏡組（選配） ，轉(zhuǎn)換使用 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（每個(gè)物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)換，暗視場觀測(cè)時(shí)自動(dòng)打開） |
觀測(cè)方法 | ||
①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | ||
觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置） |
換鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動(dòng)五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤，配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測(cè)：U-D5BDREMC型 | |
載物臺(tái) | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原裝日本精機(jī)2軸電動(dòng)平臺(tái)，可以進(jìn)行XY軸同時(shí)聯(lián)動(dòng)。 帶12寸晶圓載物臺(tái)板。 | |
內(nèi)置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
能耗 | ||
體積/重量 | 體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物臺(tái)約重31kg） | |
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