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反射膜厚儀 F50系列 測厚儀

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  • 型號 F50系列
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更新時間:2024-03-05 09:24:45瀏覽次數(shù):694

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產(chǎn)品簡介

反射膜厚儀/測厚儀/F50系列自動多點測量成像FilmetricsF50系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度

詳細(xì)介紹

反射膜厚儀/測厚儀/F50系列 

自動多點測量成像


Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤,樣品直徑標(biāo)配200mm,可達(dá)450mm。(穩(wěn)定的樣品臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,并且不受測量點數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的F50型號儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的F50是的產(chǎn)品。一般較短的波長(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可測樣品膜層:
基本上所有光滑的,非金屬的薄膜都可以測量。

可測樣品包括:
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅  

額外的好處:

· 每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種

·  應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)

· 網(wǎng)上的 “手把手" 支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))

·  硬件升級計劃

 

 

 

 

型號

厚度范圍*

波長范圍

F50

20nm-70µm

380-1050nm

F50-UV

5nm-40µm

190-1100nm

F50-NIR

100nm-250µm

950-1700nm

F50-EXR

20nm-250µm

380-1700nm

F50-UVX

5nm-250µm

190-1700nm

F50-XT

0.2µm-450µm

1440-1690nm

F50-s980

4µm-1mm

960-1000nm

F50-s1310

7µm-2mm

1280-1340nm

F50-s1550

10µm-3mm

1520-1580nm



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