3 個型號(1、2、3 型)各自有 5 級放大倍率,可滿足不同視場及倍率要求;
較長的工作距離(50 毫米),可以滿足測量對工件高度方向的空間要求;
高達15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構(gòu)相比,采用5段、定倍自動變焦機構(gòu)可以使測量更加快速、準確;
高速、高精度 TTL 激光自動對焦功能。
(但VMR-1515的Performa 型,僅有影象自動對焦功能,無激光自動對焦功能。)
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體封裝、印刷電路板、沖壓件、注塑件、連接器及各種小零件,如鐘表元件等。
Z120X型(帶高倍頭)
光學(xué)放大倍數(shù)可達120X,能夠測量微距線寬;
高精度 TTL 激光自動對焦裝置,具有激光光束細、光斑小的特點,支持精細激光掃描測量;
特別適合經(jīng)過精細加工的小型精密零件的測量;
可選配表面形貌分析軟件(Bird's-Eye View),用來顯示 MEMS 部件的三維表面形貌。
應(yīng)用領(lǐng)域:
小型高密度印刷電路板、小型精密模具、半導(dǎo)體封裝(二維+高度),MEMS 部件等。
LU 型(通用反射照明器 / 電動物鏡轉(zhuǎn)換器)
光學(xué)頭采用尼康的CFI60光學(xué)系統(tǒng),可以使用尼康 CFI60 LU 全系列顯微物鏡;
具有明場、暗場、DIC、簡易偏光等顯微觀察方式;
配備電動通用五孔物鏡轉(zhuǎn)換器;
可裝備帶有玻片厚度修正功能的、專門用于液晶板觀測的尼康CF IC LCD Plan CR系列物鏡;
易于使用的軟件,可控制系統(tǒng)所有功能。
應(yīng)用領(lǐng)域:
小型液晶顯示器、有機EL面板、直徑在150 毫米以內(nèi)的硅片等。