TAC-100 全自動硅片插片機(jī)

一、主要參數(shù)

1. 外形尺寸    2800L×2200W×2100H（mm）

2. 花籃規(guī)格    100片

3. 硅片尺寸    156mm

4. 硅片厚度    150~200um   

5. 適用硅片    砂漿線（單晶硅、多晶硅）、金剛線（單晶硅、多晶硅）。

6. 發(fā)片效率    7000片/小時（未包含換盒及上料時間）

7. 碎片率      ≤0.2% （除硅片自身原因）

8. 控制系統(tǒng)    PLC可編程控制器，交流伺服系統(tǒng)

9.照像系統(tǒng)     檢測碎片和疊片并自動分選

10.氣壓        0.5~0.55Mpa 干燥氣體

11.氣源流量    進(jìn)氣管口徑≥10mm

12.電源        AC220V（單相三線）、50HZ

13.設(shè)備功率    3.0KW

二．特點介紹

1. 硅片帶離原理：

我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過吸水（硅片和輸送帶始終有一定的間距），使得分離后的硅片會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離，對硅片無任何損傷。同時該技術(shù)已為超?。ǎ?/font>140mm）的硅片使用全自動插片機(jī)奠定了基礎(chǔ)；

分片機(jī)構(gòu)可對任何狀態(tài)的硅片進(jìn)行均勻分離；

以上二項技術(shù)南亞自行研發(fā)，并已申請二項發(fā)明。

2.硅片的帶片速度取決于輸送帶的轉(zhuǎn)速，非開關(guān)模式的運行模式連續(xù)又平穩(wěn)；轉(zhuǎn)速根據(jù)工況設(shè)定（通常分片速度為7000片/小時）；

3.帶片/上料部分結(jié)構(gòu)簡易合理；水下幾乎無運動部件，極大地減少使用過程中對設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)工作；

4.硅片上料盒可在前道工序脫膠后直接裝入硅片，減少周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，方便操作人員實現(xiàn)一人多機(jī)工作；

5．異常硅片經(jīng)視覺系統(tǒng)判斷后采用硅片分選機(jī)原理，對異常硅片識別后自動分離；

6.為避免水路堵塞，水箱帶過濾功能，水路帶反沖功能。

三．控制系統(tǒng)

1. 采用三菱可編程控制器，功能齊全運行可靠；

2. 運行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設(shè)定 ；

3. 配置三菱交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位；

4. OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控，實現(xiàn)設(shè)備完備的系統(tǒng)運行保障；

5. 動態(tài)日志管理；

6. 故障監(jiān)控、診斷、報警及設(shè)備保養(yǎng)需求的自動生成。

 四．視覺系統(tǒng)

1. 德國堡盟（Baumer）視覺系統(tǒng)對輸送過程中異常硅片進(jìn)行視覺判斷?；谳喞墓ぷ髂Ｊ?，360°目標(biāo)識別功能確保全面、可靠的特征檢查

2. 硅片異常的范圍（精度）用戶可根據(jù)實際需要自行設(shè)定；

3. 采用紅外光源，減小外部光源對檢測結(jié)果的影響；

4. 支持IE瀏覽器遠(yuǎn)程查看