透射電鏡樣品桿清洗機(jī)

真空泵

Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵

z大入口壓力：1.0個(gè)大氣壓（0psig），z大出口壓力：1.4個(gè)大氣壓（6.5psig）

z高抽速：60L/min，j限真空：3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)

兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器

清洗室

清洗室尺寸(長(zhǎng)X寬X高)：150x150x150mm

清洗數(shù)量

可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

Thermo Fisher（FEI）、日立Hitachi、捷歐路JEOL

氣體控制

標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測(cè)量自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國(guó)MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面

電源

220V，50/60Hz，300W

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護(hù)