Inficon冷陰極電離真空規(guī) 返回列表頁

測量范圍（空氣，氮氣)

mbar (Torr)

5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)

精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±30%

重復(fù)性1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±5%

安裝方位

不限

容許壓力

Bar

≤10（限于惰性氣體）

容許溫度
操作（環(huán)境）
儲存
輸出

℃
℃
℃

+5 … +55
–40 … +65
2501)(擴(kuò)展版 2)

電源電壓
標(biāo)準(zhǔn)
供電量 3
電壓頻率

V (dc)
V (dc)
Vpp

+15…+30
+16…+30
≤1

耗電量

W

≤2

保險絲連接

AT

≤1

輸出信號（測量信號）
電壓范圍
測量范圍

V
V

0…+10.5
+1.96…+8.6

相對壓力
誤差

V

對數(shù), 0.8 V/decade
<0.5 (無供應(yīng))

輸出電阻
最小負(fù)載電阻

Ω
KΩ

2 × 10
10、防短路

響應(yīng)時間
p>10-6mbar
p=10-8mbar

MS
MS

<10
≈1000

識別量規(guī)

KΩ

7.15，供參考使用

電氣連接
傳感器電纜
電纜長度

M

FCC 68電器連接器，8極，內(nèi)螺紋
8極加屏蔽
≤50(8×0.14mm2)

工作電壓
工作電流

kV
μA

≤3.3
≤100

暴露于真空中的材料

不銹鋼，氧化鋁，銀，

內(nèi)部容積

cm3

≈20

重量
DN 40 CF-F

g

≈950≈1100

保護(hù)類別

IP 40

標(biāo)準(zhǔn)

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1