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詳細(xì)介紹
一、用途：
TGP-60C大平臺明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類 別 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 長工作距離平場消色差物鏡 | 5X(明場) | 0.12 | 18.3 |
| 10X(明暗場) | 0.25 | 8.9 | |
| 20X(明暗場) | 0.40 | 8.7 | |
| 40X(明暗場) | 0.60 | 3.7 | |
| 80X(明場) | 0.80 | 0.96 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-5000X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺：三層機(jī)械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸：274*274mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺：三層機(jī)械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸：274*274mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
三、系統(tǒng)組成
大平臺硅片檢測顯微鏡(TGP-60C): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、500萬高像素攝像頭4、計算機(jī)(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(TGP-60C)：50--5000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片測量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)
| 電腦型硅片顯微鏡 TGP-60C | |
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