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詳細(xì)介紹
Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保730型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。
應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
規(guī)格
性能參數(shù) | 物理參數(shù) | 電氣參數(shù)(電壓) | ||||
精度1 | ±0.5%讀數(shù) ±0.25%讀數(shù)(可選) | 壓力接口 | 參見訂購信息 | 激勵輸出4 | 12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC | |
響應(yīng)時間 | ﹤20MS | 接液材料 | Lnconel@ | 電流消耗 | ﹤10mA(值) | |
分辨率 | 無限，僅受輸出噪聲的 限制(≤0.005%FS) | 電氣連接 | 5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6*尾纖上) | 輸出負(fù)載 | ﹥10KΩ | |
溫度影響2 | 殼體 | 不銹鋼 | 輸出阻抗 | ﹤1Ω | ||
補償范圍 | 0～+50℃ | 腔室體積 | ﹤6.0cc | 電路 | 3線制 | |
零點漂移 | 0.25%FS/50℃ | 重量(近似值) | ﹤250g | 壓力介質(zhì) | ||
量程漂移 | 1.35%讀數(shù)/50℃ | 環(huán)境參數(shù) | 與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。 | |||
長期溫度性3 | 0.5%FS/1年,不受環(huán)境條件影響 | 溫度 | ||||
工作溫度 | 0至+80℃ | |||||
認(rèn)證 | 1.包括非線性、非重復(fù)性盒遲滯 3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr 2.產(chǎn)品在66℉進(jìn)行標(biāo)定,溫 時為±1.0%FS/年 度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來 4.采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定?？稍谪?fù)載≥5KΩ時工作 | |||||
CE.RoHS | ||||||
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