T700型多路質(zhì)量流量校準(zhǔn)儀

主要性能特點流量測量精度：全量程的±1%；流量控制再現(xiàn)性：全量程的±0.2%；流量測量的線性：全量程的±0.5%；稀釋氣的流量范圍： 0-10 SLPM, 可選：0-20 SLPM,0-5 SLPM。臭氧發(fā)生器模塊 輸出：6 ppm L/min最小輸出：100 ppb L/min紫外光度計（選項） 滿量程范圍：100 ppb – 10ppm，用戶可調(diào) 精度：1.0 ppb

主要性能特點

• 流量測量精度：全量程的±1%；

• 流量控制再現(xiàn)性：全量程的±0.2%；

• 流量測量的線性：全量程的±0.5%；

• 稀釋氣的流量范圍： 0-10 SLPM, 可選：0-20 SLPM,0-5 SLPM。

• 臭氧發(fā)生器模塊

  輸出：6 ppm L/min最小輸出：100 ppb L/min

• 紫外光度計（選項）

  滿量程范圍：100 ppb – 10ppm，用戶可調(diào)

  精度：1.0 ppb