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詳細(xì)介紹
掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 業(yè)內(nèi)*的X射線幾何結(jié)構(gòu)以及標(biāo)配能譜儀和波譜儀（EDS & WDS）
• 五象限背散射電子探測(cè)器（BSE）為您提供更豐富的形態(tài)信息
• 可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品
• 可移動(dòng)的顯微鏡樣品臺(tái)用于觀察大型樣品
• 配備鎢光源和可供選擇的LaB6 光源
主要技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) |
| EVO 10 | EVO 15 | EVO 25 | |||
| 樣品室規(guī)格 |
| 310 mm*220mm （直徑*高度） | 365 mm* 275 mm （直徑*高度） | 420 mm* 330 mm （直徑*高度） | |||
| 電動(dòng)載物臺(tái)行程XYZ | 載物臺(tái)可通過(guò)鼠標(biāo)或可選的操縱桿和控制板調(diào)節(jié) | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或80) mm | |||
| 樣品高度 |
| 100 mm | 145 mm | 210 mm | |||
| 樣品直徑 |
| 230 mm | 250 mm | 300 mm | |||
| 未來(lái)可升級(jí)途徑 | 電子束襯管、擴(kuò)展壓力、 水蒸氣可變壓力和氣體擴(kuò)展壓力 | ||||||
| 圖像處理 | 32,000 × 24,000 像素；通過(guò)積分平均值法采集信號(hào)（掃描速度 2 或以上） | ||||||
| 系統(tǒng)控制 | 通過(guò)鼠標(biāo)和鍵盤(pán)操作的 SmartSEM(3) 圖形用戶界面 | ||||||
| 通過(guò) 23" 觸摸屏、鼠標(biāo)和可選硬件控制面板操作的 SmartSEM Touch(2) 圖形用戶界面 | |||||||
| 配有旋轉(zhuǎn)控制功能的硬件控制面板，用以在成像期間增強(qiáng)手動(dòng)反饋和 實(shí)現(xiàn)更直觀的控制 | |||||||
| 易于使用的功能 – 自動(dòng)飽和度、自動(dòng)對(duì)齊、樣品選擇和自動(dòng)成像 | |||||||
| Windows® 10 多國(guó)語(yǔ)言版 | |||||||
| 實(shí)用需求 | 100–240 V，50 或 60 Hz 單相， 無(wú)需水冷 | ||||||
| 描述 |
| 選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購(gòu)買掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小，它也不同于臺(tái)式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO的投資保證了您已經(jīng)為將來(lái)需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。 | EVO 15 充分展示了EVO 家族的靈活性概念， 并擅長(zhǎng)于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對(duì)不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。 | EVO25 是工業(yè)的主力解決方案， 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件?？蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺(tái)可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能， 它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外， 大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測(cè)器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。 | |||
| 高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 | |||||||
| 可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 | |||||||
| 擴(kuò)展壓力模式 (EP) | |||||||
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