詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹:
名 稱:安賽斯可編程勻膠機(jī)HC220SE
型 號:HC220SE
原產(chǎn)地:
應(yīng) 用:HC220SE高精度勻膠機(jī),采用高級PLC 模塊,工業(yè)級伺服電機(jī),全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品概述:
HC220SE高精度勻膠機(jī),采用高級PLC 模塊,工業(yè)級伺服電機(jī),全自動程序控制,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復(fù)性。
性能參數(shù):
- 適用晶元尺寸范圍:Ø5~220mm;
- 旋涂速度:0~10000rpm;
- 轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
- 旋涂加速度:0-50000rpm/s(空載);
- 旋涂時間:3000s;
- 旋涂時間精度:0.1s;
- 內(nèi)腔壁采用的凹面防濺設(shè)計(jì);
- 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序100步;
- 均勻性:<±3%(需去邊3mm區(qū)域測量);
- 電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品特點(diǎn):
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采用高級PLC模塊,工業(yè)級伺服電機(jī);8英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;
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HDPE高分子內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;內(nèi)腔壁采用的凹面設(shè)計(jì),有效防濺;
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可編程寫和存儲100組程序,每組100步;
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帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;帶排廢接口;
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具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計(jì);具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。
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正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換;旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行;速度-時間曲線實(shí)時顯示;
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可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;
HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔
8英寸彩色觸摸屏人機(jī)界面
產(chǎn)品外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
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