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MCG-M10HBP 微波法氣相石墨烯生長爐

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更新時間:2023-03-18 14:15:16瀏覽次數(shù):214

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點(diǎn)1、本產(chǎn)品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術(shù),適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產(chǎn)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、本產(chǎn)品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術(shù),適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產(chǎn)。
2、本產(chǎn)品等離子生長腔體采用潔凈石英管結(jié)構(gòu),避免生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)污染,確保產(chǎn)品品質(zhì)。
3、本產(chǎn)品設(shè)計連續(xù)氣相生長功能,采用頂部4路進(jìn)氣混氣,底部排料的結(jié)構(gòu)。
4、本產(chǎn)品采用真空和微正壓系統(tǒng)設(shè)計,反應(yīng)室與外界密封設(shè)計,適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產(chǎn)品設(shè)置真空管路和防爆泄壓結(jié)構(gòu),支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境。
6、本產(chǎn)品采用微波等離子體技術(shù),功率智能調(diào)節(jié),工藝性更穩(wěn)定。
7、本產(chǎn)品采用PLC程序控制,觸摸屏操作,工藝路線可實(shí)現(xiàn)自動化控制,工藝數(shù)據(jù)可讀取。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

氣相石墨烯生長爐

型號

MCG-M10HBP

技術(shù)原理

微波等離子體(MPCVD)

設(shè)備形式

立式管道型,多路氣氛,高真空密封

進(jìn)出料形式

進(jìn)料:氣態(tài)/ 出料:固態(tài)

反應(yīng)區(qū)尺寸

Φ200*500 mm

微波系統(tǒng)

微波功率10kW/2450MHz,系統(tǒng)水冷

產(chǎn)成品

石墨烯粉體,產(chǎn)量和特性依據(jù)具體工藝要求

監(jiān)控視窗

垂直三個觀察窗

控制方式

PLC控制系統(tǒng),彩色觸摸屏操作,多參數(shù)顯示

安全措施

產(chǎn)品氣體管路系統(tǒng)防爆設(shè)計

微波防護(hù)

微波泄漏量:<5mW/cm2 (國標(biāo))

設(shè)備外尺寸

900×900×1700mm(長×寬×高)

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