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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
大掃描范圍：400mm x 400mm；（常 規(guī)機(jī)器一般約是300mm x 300mm）
磁懸浮超高速機(jī)型，掃描速度：2米/秒； 掃描加速度：30米/秒2，KSI一臺(tái)機(jī)器相 當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺(tái)的工作量。(常規(guī)機(jī)器小 于1米/秒)
高掃描重復(fù)精度：+/-0.1微米（常規(guī)機(jī)器 只能做到0.5微米）
低噪防誤判探頭（常規(guī)機(jī)器沒(méi)有， 無(wú)法在高速掃描時(shí)去除水花導(dǎo)致的誤判）
技術(shù)指標(biāo)
1.電子和聲學(xué)顯微系統(tǒng)單元
⑴放大倍率：625倍
⑵探頭頻率：5MHz~400MHz可選
⑶探頭焦距：2mm ~ 50mm 可選
⑷模數(shù)轉(zhuǎn)換AD卡 1GHz
⑸聲學(xué)信號(hào)激發(fā)和接收裝置帶寬：5MHZ ~ 555MHz
⑹圖像顯示器24英寸2個(gè)
⑺圖像格式：BMP、JPG、sam原廠格式
⑻圖像分辨率：3.2萬(wàn)像素 x 3.2萬(wàn)像素
2.機(jī)械掃描單元
⑴X/Y/Z軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)是直線磁懸浮電機(jī)
⑵X軸和Y軸的掃描速度：2000mm/s，加速度是30米/平方秒
⑶掃描范圍：400mm x 400mm
⑷X軸和Y軸的精度：+/-0.1微米
⑸Z軸是自鎖步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
⑹Z軸調(diào)焦行程：100mm
⑺檢件臺(tái)：標(biāo)準(zhǔn)、托盤(pán)、真空吸附、定制等可選
⑻樣品槽：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)
3.軟件單元：
⑴主控軟件：Ksi Vision
⑵掃描模式：A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D-
⑶眾多可選配置：透射模組/三維圖像分析軟件/濾波器等
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