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詳細(xì)介紹
1200度石英管管式爐采是由洛陽西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐，1200度石英管管式爐采用石英爐管，管徑20~300mm可按需定制。雙O圈密封結(jié)構(gòu)搭配不同的真空機組獲得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法蘭總成可增強其擴展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系統(tǒng)。
使用溫度范圍：300～1200℃ 溫度控制精度：±1℃ 管徑：φ25~φ100
主要用途：
高溫管式爐提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域；可擴展性強，搭配不同的接口和真空系統(tǒng)及其他附件可組成不同用途的實驗平臺，既是基礎(chǔ)組件也是核心組件。
管式爐主要特點：
雙層鈑金間的排溫風(fēng)扇能有效有效保護爐體表面溫升低于50℃；
爐蓋開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性
程序控溫系統(tǒng)，可規(guī)劃多條曲線，可編程30段程序控溫
電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀
安全性：過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。
管式爐主要技術(shù)參數(shù)：
| 性能數(shù)據(jù) | 電爐名稱 | SGM 1200℃真空管式爐 |
| 爐管 | φ50/44*1000 φ60/54*1000 φ80/74*1000 | |
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長400~440mm,恒溫區(qū)約（±2℃）150mm（可個性定制管徑和加熱區(qū)長度）。 SGM 1200管式爐在1000℃保溫1H時溫場曲線圖：（0點為溫區(qū)中點及熱電偶所在位置） | |
| 外形： L*W*H(mm) | 1000*420*520（約） | |
| 額定溫度(℃) | 1200 | |
| 工作溫度(℃) | 1100 | |
| 功率(Kw) | 3 | |
| 電壓(V) | 220 | |
| 升溫速率 | 推薦：10℃/min；額定20℃/min | |
| 部件與結(jié)構(gòu) | 溫控儀表 | 1、默認(rèn)標(biāo)配宇電AI智能控溫儀表，可選配：日本島電FP93溫控儀表、歐陸儀表、觸摸屏儀表、云端監(jiān)控儀表、其他儀表（。 2、具備30段曲線升溫功能（斜率升溫），可規(guī)劃多條曲線，滿足復(fù)雜工藝； 3、具備PID智能調(diào)節(jié)功能，可控硅移相觸發(fā)（調(diào)壓）； 4、具有過溫保護、斷偶保護功能，可在過溫或斷偶時自動切斷電爐加熱電路； 5、可配備RS485、RS232通訊接口。可選購軟件與PC連接； 6、具備自整定功能。 |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 加熱元件 | OCr27A17Mo2 ；預(yù)埋式電阻絲（半露） | |
| 熱電偶 | 1、默認(rèn)K分度號；可選N分度號或其他分度號熱電偶； 2、可增加管內(nèi)測溫?zé)犭娕肌?/p> | |
| 爐膛耐材和結(jié)構(gòu) | 1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、對開式爐膛，有利于爐管的裝卸，也可用于觀察物料變化或快速冷卻。 | |
| 鈑金結(jié)構(gòu) | 帶風(fēng)機強制對流的雙層殼體結(jié)構(gòu) | |
| 主控元件 | 可控硅 | |
| 開蓋斷電 | 上下爐膛間安裝行程開關(guān)（或光電感應(yīng)開關(guān)）爐門打開時切斷加熱電路。 | |
| 過流保護 | 電爐主回路上裝有斷路器，當(dāng)加熱電流過大超過斷路器額定電流時，會斷路，能有效保護電路 | |
| 管堵和密封結(jié)構(gòu) | 1、設(shè)備包含了2個氧化鋁管堵，在管式爐使用前將管堵裝入管內(nèi)至加熱區(qū)端點，能有效降低管內(nèi)熱輻射，有利于恒溫區(qū)的形成，且對法蘭和O圈有良好的保護作用； 2、可選購更加潔凈的石英管堵，其更適合高真空系統(tǒng)； 3、設(shè)備包含了基礎(chǔ)的氣路總成，一般爐管兩端均配有不銹鋼法蘭（含機械壓力表，針閥、軟管接頭等） 4、可根據(jù)需要選購波紋連接管、數(shù)顯真空計。 5、可選KF25接口以獲得較快抽氣速率，可選雙卡套接頭以連接供氣系統(tǒng) 6、可選裝卡箍式快裝法蘭，折頁法蘭，滑動法蘭，水冷法蘭，帶觀察窗的法蘭，以及聚四氟乙烯法蘭等；點此了解 如圖：（基本的管式爐管堵和法蘭安裝示意圖）； | |
| 真空系統(tǒng)（選購） | 多種真空機組供您選擇： 1、一般粗略抽真空、置換氣體洗爐管時：TW-1.5A單級泵可滿足使用需求。 2、雙極旋片機械泵：10^-2 torr，2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、分子泵機組：10^-5 torr 4、英國（INFICON）電容真空計（測量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量*、重復(fù)性好、可選防腐類型PCG554） | |
| 供氣系統(tǒng)（選購） | 1、轉(zhuǎn)子流量計供氣系統(tǒng) 2、質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng) 3、輔助供氣配件：鼓泡器、液態(tài)蒸發(fā)器等 |
服務(wù)與支持
售前咨詢
1、按客戶技術(shù)要求為您提供選型服務(wù)；
2、按客戶實驗?zāi)康奶峁┩扑]服務(wù)；
3、客戶無法提供需求時，可為客戶提供預(yù)約實驗服務(wù)（點此了解），先試驗后購買。
售中服務(wù)
1、為客戶提供實時生產(chǎn)進度匯報服務(wù)；
2、發(fā)貨追蹤服務(wù)；
3、建立設(shè)備檔案生成*的可溯源身份編號，記錄其生產(chǎn)工藝，用料，配件等信息。
售后服務(wù)
1、安裝和操作指導(dǎo)；
2、可選購的；
3、配件供應(yīng)服務(wù)（點此查看）。
質(zhì)保服務(wù)
電爐保修一年，并提供終身技術(shù)支持和維護服務(wù)；
特別提示：
1、加熱元件不在保修范圍內(nèi)（點此了解各種爐膛加熱元件的更換特點）。
2、石英配件，樣品坩堝等易損件不在保修范圍內(nèi)；
3、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
管式爐注意事項
1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；
2、使用氣瓶向爐管內(nèi)通入氣體時，為了確保安全，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議使用壓力低于0.02MPa；
3、爐管為石英管時，爐內(nèi)溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓應(yīng)和大氣壓相當(dāng)；
4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊；
5、對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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