一.產(chǎn)品特點
- 儀器管路經(jīng)鈍化處理,零死體積管路設(shè)計,等特殊工藝保證了系統(tǒng)的惰性,可靠性更高,使用壽命更長
- 進樣預(yù)處理系統(tǒng)和切換閥均采用帶吹掃保護氣路的進口自動閥,可防止空氣混入、提高系統(tǒng)的密閉性
- 配置氣體分離專用微填充柱和高效毛細管柱,配合分離預(yù)切再分離技術(shù),實現(xiàn)樣品更高分離度
- 采用了*的10/100M自適應(yīng)以太網(wǎng)接口,實現(xiàn)全網(wǎng)絡(luò)反控,工作站界面簡單,數(shù)據(jù)處理功能強大。
- 采用成熟的多閥多柱,中心切割和反吹技術(shù),的設(shè)計工藝,穩(wěn)定可靠的高純氣體分析色譜技術(shù)解決方案
氦離子檢測器
二.技術(shù)參數(shù)
◆溫控系統(tǒng)
柱箱溫度范圍:室溫+5℃~450℃
溫度設(shè)定精度:0.01℃
溫控數(shù)量:8路獨立控溫系統(tǒng)
程序升溫速度:0.1~40℃/min
智能后開門:進出風(fēng)量無級可調(diào)
降溫速度:從350℃降至50℃<7min
程序升溫階數(shù):16階(可擴展)
最長一次運行時間:999.99min
◆進樣系統(tǒng)
控制方式:壓力/流量控制
流量:氣體流量為1000SCCM
靈敏度:0.01SCCM
輸出偏移量(精度):±5%
分流比:5000:1
電磁閥:高速切換電磁閥壽命長(10mS,100萬次)
進樣閥:可搭載多個進口自動控制閥,可自動序列運行
◆檢測器及純化器系統(tǒng)
檢測氣體類型:H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等
放電模式:脈沖放電
基線噪聲:≤0.05mv
基線漂移:≤0.2mv/30min
檢測限:10ppb(甲烷)
重復(fù)性:RSD≤3%
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe等
操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等
殘留濃度:≤10ppb
檢測指標(biāo):
雜質(zhì): | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H2 | C2H4 | C2H6 | N2O等 |
PPB | 10 | 10 | 15 | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 20 |
三.適用標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 》 GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》
GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險物質(zhì)的測定》
四.典型譜圖: