SiBrickScan (SBS) 硅棒分析儀

SiBrickScan（SBS）是一款專(zhuān)門(mén)用于定量分析完整硅錠中的間隙氧，生成沿硅錠縱軸的濃度分布曲線(xiàn)的在線(xiàn)系統(tǒng)。優(yōu)勢(shì)是不必切割晶圓或測(cè)試樣品的情況下獲取這類(lèi)信息，可顯著節(jié)約成本。

通過(guò)獲取有價(jià)值的信息來(lái)檢查和提高產(chǎn)品質(zhì)量

了解硅錠的氧梯度能得出重要的結(jié)論，從而控制和優(yōu)化硅結(jié)晶過(guò)程，或識(shí)別劣質(zhì)原料批次。因此，SBS將通過(guò)優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量和減缺陷晶圓的數(shù)量來(lái)節(jié)約成本。對(duì)錠進(jìn)行隨機(jī)抽樣也大大減少樣品制備工作，并能提前提供相關(guān)信息。

的FTIR光譜法帶來(lái)高靈敏度

盡管通過(guò)FTIR光譜法（ASTM/SEMI 1188）對(duì)間隙氧進(jìn)行定量分析是一個(gè)的重要分析方法，但它卻只能限制在小毫米量程的薄硅樣品范圍內(nèi)。SiBrickScan（SBS）巧妙地利用了相關(guān)的紅外泛頻吸收帶，并與可靠的布魯克FTIR技術(shù)相結(jié)合，打破了這個(gè)局限性，它是商用的完整硅錠中氧梯度專(zhuān)用分析系統(tǒng)，無(wú)需進(jìn)行耗時(shí)且破壞性薄樣品制備，就能準(zhǔn)確測(cè)定沿主軸上的硅錠氧梯度。

應(yīng)用

無(wú)需制備薄樣品即可進(jìn)行間隙氧定量分析

SiBrickScan 能夠?qū)?nbsp;500 mm 直徑硅錠的間隙氧進(jìn)行分析。從中獲得的重要信息優(yōu)化結(jié)晶過(guò)程，并在切割之前，對(duì)單個(gè)錠進(jìn)行定量分析。

與根據(jù)ASTM/SEMI 1188相比結(jié)果一致

SBS的氧含量評(píng)估與根據(jù) ASTM/SEMI 1188 進(jìn)行定量結(jié)果一致。因此可以實(shí)現(xiàn)高精度的間隙氧含量評(píng)估。

SBS 可實(shí)現(xiàn)高檢測(cè)靈敏度

SBS可達(dá)到< 2ppma (< 1017/cm3) 的檢測(cè)極限，具體視樣品的形狀和性質(zhì)（如電阻）而定。如果您對(duì)測(cè)試性能有興趣，請(qǐng)聯(lián)系當(dāng)?shù)氐牟剪斂虽N(xiāo)售代表。

規(guī)格

適用于不同硅錠類(lèi)型的專(zhuān)用SBS版本

SBS可用于標(biāo)準(zhǔn)的多晶或單晶方形PV錠（橫截面約為156 x 156 mm2）以及圓柱形硅錠，包括直徑在150毫米（6英寸）或200毫米（8英寸）左右。如有需求，我們也可提供適用于其他直徑和形狀的系統(tǒng)。

穩(wěn)定的設(shè)計(jì)且滿(mǎn)足工業(yè)兼容性

穩(wěn)定且精確的線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)能夠自動(dòng)控制錠的測(cè)量位置：沿錠軸可達(dá)到12mm左右的間距，視配置和錠類(lèi)型具體情況而定。加之安全可靠的互鎖機(jī)制，避免了操作人員觸碰活動(dòng)部件的風(fēng)險(xiǎn)。

直觀(guān)易用的軟件界面

SiBrickScan (SBS) 具有針對(duì)工業(yè)環(huán)境進(jìn)行優(yōu)化的專(zhuān)用的直觀(guān)式圖像用戶(hù)界面。即便是普通工人，也能在數(shù)分鐘內(nèi)學(xué)會(huì)使用其標(biāo)準(zhǔn)操作程序：僅需加載硅錠，選擇目標(biāo)分析方法，然后啟動(dòng)測(cè)量即可。隨后，包括數(shù)據(jù)評(píng)估在內(nèi)的測(cè)量過(guò)程將自動(dòng)運(yùn)行。

創(chuàng)新的高靈敏度光路以及內(nèi)置的參考樣品

創(chuàng)新的紅外光路確保測(cè)量靈敏度。儀器內(nèi)置高質(zhì)量的參考樣品，參考測(cè)量可自動(dòng)完成。

檢測(cè)器可由客戶(hù)選配

SBS 亦可配備斯特林制冷檢測(cè)器，無(wú)需液氮即可運(yùn)行。用戶(hù)也可選購(gòu)液氮冷卻檢測(cè)器，它包括一個(gè)液氮自動(dòng)補(bǔ)充裝置。