詳細(xì)介紹
該型號(hào)為我公司開發(fā)的多功能垂直式布里奇曼法生長晶體爐,它既可以采用向上提拉法生長晶體,也可以采用坩堝下降法生長晶體,坩堝或籽晶桿還可以邊升降邊自我旋轉(zhuǎn),如此可以適用多種晶體材料的生長工藝,所以稱為多功能晶體生長爐。
該多功能晶體生長爐設(shè)計(jì)有連續(xù)上下四個(gè)溫區(qū),可以方便用戶調(diào)節(jié)多個(gè)不同的溫度梯度,有利于用戶探索要生長的晶體材料的生長工藝,進(jìn)一步提升了該設(shè)備的易用性和適用性。
控溫部分采用英國歐陸溫控表,控溫精度可達(dá)0.1℃,提拉傳動(dòng)機(jī)構(gòu)采用高性能伺服電機(jī),行程更加穩(wěn)定,該設(shè)備可以滿足用戶生長較高品質(zhì)的晶體。
設(shè)備圖片 爐膛加熱溫區(qū)示意圖
加熱系統(tǒng): | |
四個(gè)加熱區(qū)獨(dú)立控溫,可設(shè)置不同的溫度梯度,精度±0.1℃: | |
四溫區(qū)長度: | 110+110+110+110mm |
總溫區(qū)長度: | 440mm |
極限溫度: | 1200°C |
工作溫度: | ≤1100°C |
升溫速率: | ≤20℃/min |
控溫精度: | ±0.1℃ |
控溫方式: | PID程序控溫 |
溫控儀表: | 廈門宇電 |
測溫原件: | 4支R型熱電偶 |
功率: | 3.5KW |
工作電壓: | 220V 50Hz |
外形尺寸: | 483*380*1760mm |
籽晶桿固定件和坩堝: | |
標(biāo)配1套不銹鋼籽晶桿固定件,用于連接生長晶體所用的籽晶桿;: | |
可選配Φ80*80mm的銥金坩堝;: | |
對(duì)于其它材料的坩堝,可選配或自行配置;: | |
提拉機(jī)構(gòu)控制系統(tǒng): | |
傳動(dòng)電機(jī): | 高性能伺服電機(jī)(速度更穩(wěn)定,改善生長質(zhì)量) |
提拉速度: | 0.1~10mm/h |
提拉桿轉(zhuǎn)速: | 0.1~23R/min |
快速升降速度: | 40mm/min |
提拉行程: | 400mm |