高真空分子泵排氣機組

機組特點與技術指標 *真空獲得為復合分子泵和直聯旋片泵，機組真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于8×10-4Pa；30分鐘以內優(yōu)于8×10-5Pa；極限真空8×10-7Pa。 *機組為可移動臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需求。 *機組配備預抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。

機組特點與技術指標 *真空獲得為復合分子泵和直聯旋片泵，機組真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于8×10-4Pa；30分鐘以內優(yōu)于8×10-5Pa；極限真空8×10-7Pa。 *機組為可移動臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需求。 *機組配備預抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。