繼電器

　　1. 針對不同需求，對產(chǎn)品充氣:選用氣氛：氫氣、氮氣、氦氣或其他惰性氣體;

　　2. 充氣壓力：< 0.4MPa，有壓力計儀表顯示;

　　3. 鉗斷：使產(chǎn)品與設(shè)備分離。

　　4. 排除通往產(chǎn)品管路的殘留氣體，進(jìn)行下一批產(chǎn)品排氣。

　　5. 工位數(shù)：5 個，可單獨或任意多個工位組合工作，每把套密封夾具配一個獨立的電磁截止閥，可獨立控制每個工位密封夾具;

　　6. 排氣接口：排氣管直徑φ 4×50，需快速的接駁在排氣工作臺接口之上.。

　　7. 真空度：主系統(tǒng)極限真空度達(dá)到 5×10^-6 Pa;

　　8. 真空系統(tǒng)為無油系統(tǒng)，采用磁懸浮分子泵、干式機(jī)械泵，真空泵采用進(jìn)口品牌;

　　9. 所有涉及真空部件都嚴(yán)格遵守超高真空制造工藝，每條管道、每個閥門都經(jīng)嚴(yán)格的檢漏及清洗除氣，保證無污染，漏率低于 1x10^-9 Pa.m³/s。

　　10. 充氣系統(tǒng)：由充氣主閥、壓力表等組成，充氣系統(tǒng)管道按超高真空工藝制造