（研發(fā)中心）分子泵機(jī)組

型號(hào)Model

單位 Unit

FJ-80

進(jìn)氣口法蘭 Flange（In）

DN63 ISO-K

DN63 CF

排氣口法蘭 Flange（Out）

ISO-KF

DN16

抽速速率 Pumping Speed

l/s

N₂：62

He：55

H₂：34

Ar：65

壓縮比 Compression Ratio

N₂: 10⁹

He: 10⁵

H₂：10⁴

Ar：10⁹

極限壓強(qiáng) ultimate Pressure

Pa

3×10^-5(ISO-K);5×10^-6(CF)

建議啟動(dòng)壓強(qiáng)recommended fore-vacuum pressure

Pa

＜50

前級(jí)泵型號(hào)forevacuum pump

GHD-031B①（標(biāo)配 standard）

冷卻方式 Cooling type,Standard

風(fēng)冷 Air

冷卻水流量 Cooling Water Consumption

L/min

>1

冷卻水溫度 Cooling Water Temperature

℃

≤25

輸入電壓頻率Input voltage / frequency

V/Hz

220±20/50

環(huán)境溫度 environment temperature

℃

5-40

安裝方式 mounting position

垂直 Veritcal

適配電源型號(hào)Controller Model

長×寬×高 L*W*H

mm

400×300×260

重量 Weight

kg

16-21