詳細(xì)介紹
電子行業(yè)用制氮機(jī)
氮?dú)庠诟餍懈鳂I(yè)當(dāng)中應(yīng)用廣泛??捎糜陔娮赢a(chǎn)品的封裝、燒結(jié)、退火、還原、儲(chǔ)存等。主要應(yīng)用于波峰焊、回流焊、水晶、壓電、電子陶瓷、電子銅帶、電池、電子合金材料等行業(yè)。電子行業(yè)對(duì)氮?dú)庖笠话惚容^高,通常需要99.9%或99.99%、以及99.99%以上的氮?dú)狻?br style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0);"> 電子工業(yè) 半導(dǎo)體和集成電路制造過程的氣氛保護(hù),清洗,化學(xué)品回收等。
大規(guī)模集成電路、彩電顯像管、電視機(jī)和收錄機(jī)元件及半導(dǎo)體元件處理的氮?dú)庠础?br style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0);"> 在電子元件和半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)過程中,需要采用純度達(dá)99.999%以上的氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣體。目前,我國(guó)已將高純氮作為載氣和保護(hù)氣應(yīng)用于彩電顯像管、大規(guī)模集成電路、液晶及半導(dǎo)體硅片等生產(chǎn)過程。
工藝架構(gòu):
1. 空氣壓縮機(jī):空氣通過空氣壓縮機(jī)進(jìn)行收集和壓縮,為氧氣發(fā)生器提供氣源。參考指標(biāo):電壓和功率。
2.四級(jí)過濾器:空氣凈化作用。可以過濾壓縮空氣當(dāng)中的顆粒,水,油,粉塵。過濾精度達(dá)到0.01ppm。
3.冷凍干燥機(jī):通常進(jìn)入空氣網(wǎng)的壓縮空氣都含有99%的水蒸汽。當(dāng)空氣冷卻時(shí)蒸汽便會(huì)凝結(jié),所以不僅會(huì)破壞壓縮空氣系統(tǒng),還會(huì)對(duì)最終產(chǎn)品造成損壞。空氣經(jīng)過冷凍干燥機(jī)的干燥處理,可以保證設(shè)備系統(tǒng)健康運(yùn)行。
(當(dāng)空氣露點(diǎn)≦45℃,另外選配吸附式干燥機(jī),對(duì)低露點(diǎn)氣源進(jìn)行二次處理)
4.空氣儲(chǔ)存罐:空氣經(jīng)過一定帶壓設(shè)備的處理,需要在進(jìn)入下一個(gè)組件之前,穩(wěn)定和緩沖壓力的作用。一級(jí)和二級(jí)兩只儲(chǔ)氣罐。
5.氧氣發(fā)生器:采用PSA變壓吸附工藝,通過分子篩吸附和脫附的相互交替,實(shí)現(xiàn)氧氮分離。
6.氧氣儲(chǔ)存罐:從氧氣發(fā)生器出來的合格氧氣,通過管道輸送到氧氣儲(chǔ)罐中。氧氣罐自帶安全閥,當(dāng)壓力達(dá)到一定的數(shù)值,安全閥會(huì)自動(dòng)泄放壓力,使整個(gè)系統(tǒng)處于安全的工作環(huán)境。
技術(shù)特點(diǎn)
1、原料空氣取自自然,只需提供壓縮空氣和電源即可制取氮?dú)?。設(shè)備能耗低,運(yùn)行成本費(fèi)用少。
2、氮?dú)饧兌日{(diào)整方便,氮?dú)饧兌戎皇艿獨(dú)馀艢饬康挠绊?,普通制氮純度?5%-99.999%之間任意調(diào)節(jié);高純度制氮機(jī)可在99%-99.999%之間任意調(diào)節(jié)。
3、設(shè)備自動(dòng)化程度高,產(chǎn)氣快,可無人值守。啟動(dòng)、關(guān)機(jī)只需按一下按鈕,開機(jī)20-40分鐘內(nèi)即可產(chǎn)生氮?dú)狻?/span>
4、設(shè)備工藝流程簡(jiǎn)單,設(shè)備結(jié)構(gòu)外形緊湊,占地面積小,設(shè)備裝置適應(yīng)性強(qiáng)。
5、暴風(fēng)雪法裝填分子篩,避免高壓氣流沖擊導(dǎo)致分子篩粉化現(xiàn)象,確保分子篩長(zhǎng)時(shí)間使用。
6、數(shù)顯流量計(jì)帶壓力補(bǔ)償、高精度的工業(yè)過程監(jiān)控二次儀表,具有瞬時(shí)流量及累積計(jì)算的功能。
7、在線分析儀濃度檢測(cè),高精度,免維護(hù)。
8、不合格氣動(dòng)自動(dòng)放空,無需人為,保證工作效率。
9、可設(shè)計(jì)不合格純度報(bào)警,
10、預(yù)留PLC的通訊接口(RS485),與買方上位機(jī)通訊。
技術(shù)指標(biāo)參數(shù):
流量:3~2000nm3/hr
純度:≥95-99.999%
壓力:0.01-0.8Mpa(以內(nèi)可調(diào))
露點(diǎn):-45℃
氧含量:≤5ppm
過濾精度:0.001ppm
型號(hào) | 流量(m3/hr) | 純度(%) | 高純度(%) | 壓力(Mpa) | 動(dòng)力來源 | 工藝 | 露點(diǎn)(℃) | 低露點(diǎn)(℃) | 產(chǎn)成品 |
XTFD-10 | 10 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | 天然空氣 | PSA 變壓吸附式 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |
XTFD-20 | 20 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-30 | 30 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-50 | 50 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-100 | 100 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-200 | 200 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-300 | 300 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-500 | 500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1000 | 1000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1500 | 1500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-2000 | 2000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |