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詳細(xì)介紹
一、用途
WMZ-9190明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中常用的檢測(cè)儀器之一.
目鏡 PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm PL L40X/0.60 工作距離：3.98 mm PL L100X/0.90 工作距離：2.2 mm （干式） 30?傾斜,瞳距調(diào)節(jié)范圍53~75mm. 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:2μm. 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) 雙層機(jī)械移動(dòng)式載物臺(tái), 外形尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:63mmX50mm 6V30W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) 內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、濾色片轉(zhuǎn)換裝置、推拉式檢偏器與起偏器 阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降 配置藍(lán)濾色片與磨砂玻璃片 防霉 系統(tǒng)組成 1.硅片檢測(cè)顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計(jì)算機(jī)（選購(gòu)） 1、硅片檢測(cè)顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機(jī)（選購(gòu)） 分劃目鏡10X（Φ22mm） 明場(chǎng)物鏡 20X、50X、80X 0.5X、1X、0.5X帶分劃尺 USB輸出：130/300/500/1000萬(wàn)像素 CANON(EF) NIKON(F) 二維圖像測(cè)量分析軟件
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