電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。
潔凈室(區(qū))設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。
潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。
潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環(huán)境等型式。
潔凈廠房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。
工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口,并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。
潔凈廠房 單人空氣吹淋室,應按大班人數(shù)每30人設一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內(nèi)逐步潔凈,室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級;當設有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。
物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應設置氣閘室或傳遞窗。
用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質(zhì)壁板構造。
潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。
潔凈室(區(qū))與周圍的空間應保持一定的靜壓差,
潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng),
潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術經(jīng)濟比較,采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。
多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風,應集中處理。
空氣過濾器應根據(jù)空氣潔凈度等級選用;
相關規(guī)范:
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范
GB 50073-2013 潔凈廠房設計規(guī)范
GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范
GB 50019-2015 工業(yè)建筑供暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范
GB 50243-2016通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范
GB 50016—2014(2018年版)建筑設計防火規(guī)范