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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD>>RTR-III-80卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 RTR-III-80
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市

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更新時(shí)間:2020-03-16 12:50:25瀏覽次數(shù):772

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新
該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的設(shè)備,此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔或纖維絲的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有

詳細(xì)介紹

 1.加熱系統(tǒng)

zui高溫度

1200

使用溫度

≤1100

爐膛有效尺寸

Φ80mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

加熱長度

200+200+200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V50Hz

 

2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

200sccm,500sccm、1000sccm

(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

zui大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

 

3、低真空機(jī)組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

 

 

 

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