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詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元產(chǎn)品介紹：
CDU冷卻控溫單元適用于半導(dǎo)體測(cè)試，電子設(shè)備恒溫測(cè)試，冷卻服務(wù)器配套基礎(chǔ)設(shè)施，及其他流體控溫場(chǎng)所。是具備獨(dú)立的換熱系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)的模塊化智能設(shè)備。
半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元原理：
CDU冷卻控溫單元，與導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)行熱交換，帶走導(dǎo)熱介質(zhì)的熱量，達(dá)到預(yù)定使用的溫度。可根據(jù)系統(tǒng)壓力、 溫度、 流量自動(dòng)變頻調(diào)節(jié)。
CDU冷卻控溫單元利用液冷熱交換對(duì)主要熱源進(jìn)行冷卻，減少風(fēng)冷系統(tǒng)的使用。通過(guò)液冷設(shè)備為發(fā)熱元件提供冷卻液循環(huán)， 節(jié)省了空氣換熱環(huán)節(jié)， 并省卻大量制冷系統(tǒng)的能耗。
型號(hào) | ZLFQ-15 | ZLFQ-25 | ZLFQ-50 | ZLFQ-75 | ZLFQ-100 | ZLFQ-150 | |||||
溫度范圍 | 冷卻水溫度+5℃～35℃ | ||||||||||
冷卻水 | 5℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量 | ||||||||||
控溫精度 | ±0.2℃ | ±0.5℃ | |||||||||
流量控制 | 10～25L/min | 25～50L/min | 40～110L/min | 70～150L/min | 150～250L/min | 200～400L/min | |||||
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，精度±0.3L/min | |||||||||||
制冷量（MAX） | 15kW | 25kW | 50kW | 75kW | 100kW | 150kW | |||||
儲(chǔ)液容積 | 15L | 30L | 60L | 100L | 150L | 200L | |||||
載冷劑 | 水、硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||||||
控制器 | PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法 | ||||||||||
溫度控制 | 導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式，具備串級(jí)控制算法 | ||||||||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 RS485接口 modbus RTU協(xié)議 | ||||||||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、冷卻水溫度 | ||||||||||
水箱液位 | 進(jìn)出口壓力傳感器檢測(cè)，冷卻水壓力檢測(cè) | ||||||||||
介質(zhì)管路 | SUS304 | ||||||||||
換熱器 | 板式換熱器，特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水 | ||||||||||
操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ||||||||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器；壓力保護(hù)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | ||||||||||
進(jìn)出接口尺寸 | G3/4 | G1 | G1 | DN32 | DN40 | DN50 | |||||
冷卻水接口 | G3/4 | G1 | DN40 | DN50 | DN50 | DN65 | |||||
冷卻方式 | 水冷，廠務(wù)水溫度低于設(shè)備所提供的的低溫度3℃以上，且水溫波動(dòng)≤3℃ | ||||||||||
冷卻水流量7～20℃ | 2.5m3/h | 4m3/h | 8m3/h | 13m3/h | 17m3/h | 25m3/h | |||||
電源 380V 50HZ | 1kW | 1.5kW | 3kW | 4kW | 5kW | 6kW | |||||
外殼 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||||||
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