設備用途

本設備是專為高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業(yè)在可控多種氣氛及真空狀態(tài)下對金屬，非金屬及其它化合物進行真空燒結、氣氛保護燒結、真空鍍膜、氣氛還原燒結、CVD實驗、真空退火﹑熔化﹑物質成分測量分析而研制的專用理想設備。

應用領域

半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等行業(yè)領域。

技術參數

設備名稱：1400度開啟式三溫區(qū)管式爐

設備型號：MXG1400-60K

爐管材質：剛玉管

爐管尺寸：外徑60*內徑50*長度1200*壁厚5mm

加熱區(qū)尺寸：200+200+200

恒溫區(qū)尺寸：80+80+80，三個溫區(qū)設置同樣溫度時可達400mm

溫度：1400度(1小時)

工作溫度：≤1300度(連續(xù))

工作電源：單相 220V 50/60Hz 9Kw 需配50A空氣開關

加溫

加熱元件：硅碳棒，上下加熱

升溫速率：20℃/min

測溫

測溫元件：S型熱電偶

控溫

溫控儀表：數顯儀表，智能化30段PID可編程控制。

控溫精度：±1℃，超溫報警

保溫

保溫材料：多晶氧化鋁纖維材料，保溫效果好，熱能損耗少。

充氣正壓：≤ 0.02MPa

可通氣體：惰性氣體和還原性氣體等。

法蘭（爐管兩端配有不銹鋼密封CF法蘭，包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭，若有特殊需求，可選配以下法蘭）

1、聚四氟乙烯法蘭，用于有腐蝕環(huán)境。

2、水冷法蘭，用于更好防止密封圈老化。

3、KF法蘭，用于更好真空實驗需求。

真空（根本實際需要選配以下不同效果的真空泵或真空系統）

1、標準旋片式機械真空泵，直插接口，極限真空可達50Pa。

2、DZK10-1低真空系統，KF接口，極限真空可達1*10-1Pa。

3、GZK10-3高真空系統，KF接口，極限真空可達1*10-3Pa。

打開方式：向上開啟式，為了保證使用***，本設備設計有開啟斷電功能。

外形尺寸：寬*深*高mm

包裝尺寸：

設備凈重：Kg

包裝毛量：

設備包箱：木箱+珍珠棉+防塵膜

發(fā)貨物流：送貨上門，不含卸貨。

質  保  期：一年，相關耗材除外，如加熱元件等易耗件

標準配件

坩堝鉗1把、剛玉舟1只、爐鉤1把、管堵2只、剛玉管1根、304法蘭1套、密封圈4只、浮子流量計1只、耐高溫手套1雙、產品說明書1份、儀表說明書1份、保修證書1份。

可選配件

1、二三四路浮子或質子流量供氣系統。

2、DZK10-1低真空系統或GZK10-3高真空系統。

3、300W或500W等離子射頻電源。

4、可選配移動爐架，將管式爐放置在爐架上。

注意事項

1、為了不影響設備正常使用壽命，請不要過快升降溫。

2、請不要往管內通入超過0.02MPa的氣體壓力。

3、本設備使用一段時間后，爐膛會出現微小裂紋，屬于正常現象，不會影響使用，可向業(yè)務人員免費索取氧化鋁涂層修補劑。

4、由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上**安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加*****。

5、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱剛玉管的沖擊

6、對于只對樣品加熱的實驗（不抽真空不通氣體），不建議使用時關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，您**時刻關注壓力表的指數（氣壓會隨溫度升降而變化），若壓力表指數大于0.02MPa，**立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。