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詳細(xì)介紹
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
先進(jìn)的自動(dòng)化功能：EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶界面：原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測與采集。1,2,4 或6通道信號(hào)可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)?？梢酝ㄟ^使用兩個(gè)顯示器來擴(kuò)展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
| 機(jī)型 | SU8600 系 | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 電子槍 | 冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)。 | |
| 加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
| 著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
| 探測器 | （部分為選配項(xiàng)） | 上探測器(UD) |
| UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號(hào)混合功能 | ||
| 下探測器(LD) | ||
| 頂探測器(TD) | ||
| TD能量過濾器 | ||
| 鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD) | ||
| 半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
| 新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
| 陰極熒光探測器(CLD) | ||
| 掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分為選配項(xiàng)） | 導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
| 軟件 | （部分為選配項(xiàng)） | EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素） |
| 樣品臺(tái) | 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 樣品室 | 樣品尺寸 | 最大直徑：150 mm |
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