詳細(xì)介紹
熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000
高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*
高靈敏度: 高效PD-BSD, 低加速電壓性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析
性能優(yōu)異
壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*
開倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV | |
放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | ZrO /W 肖特基式電子槍 |
加速電壓 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn)) | |
著陸電壓 | 減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1 | |
最大束流 | > 200 nA | |
探測(cè)器 | 低位二次電子探測(cè)器 | |
低真空模式*2 | 真空范圍: 10 - 300 Pa | |
馬達(dá)臺(tái) | 馬達(dá)臺(tái)控制 | 5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心) |
可動(dòng)范圍 | X:0~100mm | |
最大樣品尺寸 | 最大直徑: 200 mm | |
選配探測(cè)器 | · 高分辨率頂位二次電子探測(cè)器*1 · 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD) · 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3 · 能譜儀 (EDS) · 波譜儀 (WDS) · 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD) |