ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀

ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀

一、概述
  運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。 
    儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。 
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動轉(zhuǎn)換量程；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類功能，分類10類。 
    探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。 
    測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺，也可選配SZT-D型測試臺以測試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》 
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等特點。 
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。 
二、ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率（括號內(nèi)為可向下拓展1個數(shù)量級）    

電    阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103  Ω,    分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 

 電 阻 率：

10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω-cm 
（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 

方塊電阻：

50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□   分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103  Ω/□  
（5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103  Ω/□） 

2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定) 
  直    徑： SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限 
  SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限. 
  長(高)度：  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限. 
  測量方位:  軸向、徑向均可 

3. 量程劃分及誤差等級。