詳細(xì)介紹
XJP-607工業(yè)金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的。作為高級(jí)金相顯微鏡用戶(hù)在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其*性能,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè),可觀察較厚的標(biāo)本。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì),使您在工作中感到舒適和放松。
技術(shù)規(guī)格 | ||
觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm) | |
目鏡 | WF10×/25mm | |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | ||
物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、 10×/0.25B.D/W.D.16mm、 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 、 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔五孔轉(zhuǎn)換器 | |
平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) | |
平臺(tái)尺寸: 190mm×140mm | ||
移動(dòng)范圍:50mm×40mm | ||
濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性) | |
調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm | |
光源 | 帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) | |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 | |
檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)量尺 | |
可供附件 | 二維測(cè)量軟件 | |
專(zhuān)業(yè)金相圖像分析軟件 | ||
鹵素?zé)?2V/100W | ||
測(cè)微目鏡 | ||
130萬(wàn)、200萬(wàn)、300萬(wàn)、500萬(wàn)像素CMOS電子目鏡 | ||
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | ||
精密載物臺(tái):X-Y行程25mm×25mm,移動(dòng)精度<5um,數(shù)顯手輪小值:0.1um,360°旋轉(zhuǎn)盤(pán) | ||
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | ||
DIC(10×、20×、40×、100×) | ||
壓平機(jī) | ||
彩色1/3寸CCD 520條線 |
XJP-607工業(yè)金相顯微鏡特點(diǎn)說(shuō)明
1. UIS無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)。
2. 采用長(zhǎng)壽命鹵素?zé)艄庠吹模庑矢摺?br />3. 明暗場(chǎng)、偏光、微分干涉功能。
4. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
5. WF10×(Φ25)超大視野目鏡、長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
6. 可插DIC微分干涉裝置的五孔轉(zhuǎn)換器。
DIC:用諾曼斯基微分干涉襯比法觀察,現(xiàn)己被認(rèn)為檢驗(yàn)材料、金屬和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)*的手段。