3D形貌測試儀

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測試儀應(yīng)運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā)，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（號：CN207556477U）。該項技術(shù)，具有以下優(yōu)點：

3D形貌測試儀主要特點有：

1、非接觸性測量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級精度；

4、滿足透明面及高對比度表面測試；

5、支持二次開發(fā)；

主要應(yīng)用

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；

3、3D玻璃缺陷檢測；

4、半導(dǎo)體表面缺陷測試；

5、多層薄膜厚度測試；