詳細(xì)介紹
賽默飛 MICROLAB 350場發(fā)射俄歇電子譜儀是一款高性能的,具有高靈敏度和高能量分辨率掃描俄歇電子能譜儀(AES)。 SEM分辨率<7納米和掃描俄歇映射(SAM)分辨率<12納米。
- 二次電子映射(SEM)在<7納米的分辨率
- 在<12納米的分辨率掃描俄歇映射(SAM)
- 高靈敏度
- 球形部門分析儀允許高能量分辨率為:
- 化學(xué)狀態(tài)確定
- 反射電子能量損失譜(EELS)
- 硅摻雜劑的測量
- Multitechnique功能,包括:
- X射線光電子能譜(XPS)
- 能量色散X射線光譜儀(EDX)
- 背散射電子檢測
- FIB
- 準(zhǔn)備的設(shè)施,包括:
- 骨折舞臺
- 供暖/供冷期
- 蒸發(fā)階段