詳細(xì)介紹
GFM系列氣體質(zhì)量流量計
本品外殼堅固耐用,精確度高,是一款多功能而且經(jīng)濟(jì)實用的流量測量產(chǎn)品??蛇x鋁或不銹鋼外殼,可選顯示工程單位(標(biāo)準(zhǔn))或百分比。
外形設(shè)計包括一個置于傳感器頂部的LCD顯示模塊,這個顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數(shù)。它用一個標(biāo)準(zhǔn)的插頭與傳感器連接,也可以分開獨立安裝。OEM的應(yīng)用可提供無LCD顯示的產(chǎn)品。
GFM質(zhì)量流量計的測量范圍是10sccm到1000sL/min(N2);用1/4",1/8"和1/2"卡套螺紋或3/4"FNPT接,可選其他連接方式。該儀表可以作為臺式設(shè)備或者用螺絲在平板上固定。
GFM系列氣體質(zhì)量流量計電源電路采用保險絲和極性保護(hù)設(shè)計。
滲漏率:氦氣測試大泄漏率為1×10-7 sml/s。被測氣體分別流經(jīng)兩個層流區(qū),一路通過主流量管道,另一路通過毛細(xì)測量管。兩個管路的設(shè)計保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個管路流量比是恒定的。兩個精密的溫度感應(yīng)繞組在測量管上被加熱,當(dāng)有流量產(chǎn)生時,被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。
測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關(guān)系,采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。根據(jù)被測氣體的質(zhì)量流量,輸出0…5 V D C或者4…20mA信號。經(jīng)過兩個層流區(qū)的氣體混合后流過具有特定孔徑的電磁比例閥,質(zhì)量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會影響流量測量值。