詳細(xì)介紹
Cube-200是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡系列之臺式掃描電鏡(馳奔儀器)
Cube-200臺式掃描電鏡(馳奔儀器)是數(shù)字化控制,專業(yè)級電子顯微成像精密儀器。配置有三級電磁透鏡,大變焦范圍,長工作距離,多孔徑光闌,輕松獲得材料表面媲美大型掃描電鏡的高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖;拓展簡單易用臺式電鏡X射線能譜儀(EDS),能快速獲得微米亞微米范圍微小區(qū)域化學(xué)元素定性定量結(jié)果;在工作條件固定模式下,Cube-200也是一款高效率的成像檢測設(shè)備。
硬件特征:
全數(shù)字控制,專業(yè)級電子顯微成像儀器;
標(biāo)配SE探測器,選配BSE探測器 ;
可選樣品倉低真空環(huán)境功能,直接測試非導(dǎo)電樣品;
可選內(nèi)置一體化簡單易用EDS;
XYZ三軸大行程自動樣品臺,可選RT軸自動控制(降低Z軸行程);
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng);
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊,系統(tǒng)高度集成,良好散熱及電磁兼容性能;
輕質(zhì)合金外殼,數(shù)字加工成型,具有良好電磁屏蔽功能。
性能指標(biāo):
型號 | Cube-200 專業(yè)入門級臺式掃描電鏡 | |
樣品臺 | XYZ三軸自動,RT手動 -Y: 45mm (自動) | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲,三極自動偏壓,偏壓與加速電壓關(guān)聯(lián) | |
加速電壓 | 200V-30KV ,數(shù)字化高壓電源,連續(xù)可調(diào) | |
探測器 | E-T型 SE detector, | |
物鏡光闌 | 四孔位可變光闌,20~100μm | |
分辨率 | 5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image | |
放大倍數(shù) | 20x-300,000 x | |
樣品室 | Se、Bse、EDS探測器接口, 4個(gè)其他接口 | |
大樣品尺寸 | Φ90mm x 45mm(H) | |
工作距離 | 0-48mm | |
掃描光柵運(yùn)動 | 電位移 ±50μm, 電旋轉(zhuǎn) 0-360° | |
視頻顯示模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可變 TV模式:800x 600像素 慢掃描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 | |
高級掃描 | 動態(tài)聚焦,傾斜補(bǔ)償 | |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG | |
真空系統(tǒng) | 全自動真空系統(tǒng),真空高壓連鎖安全保護(hù) -渦輪分子泵 -旋片式機(jī)械真空泵 -電動閥門系統(tǒng):真空閘板閥、電磁閥等 -高真空優(yōu)于7.5x10-3Pa (從大氣到達(dá)高真空小于3分鐘) -低真空模式 10-230Pa (選配) | |
自動功能 | 亮度/對比度, 聚焦, 電子槍對中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對中,自動照相存儲 | |
軟件系統(tǒng) | 基于Win10,Virtuoso控制軟件. 內(nèi)嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤操作。 | |
主機(jī)尺寸/重量 | 410(W)x440(D)x 520(H)mm /65kg | |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW | |
耗材附件 | 預(yù)對中燈絲,樣品托,碳導(dǎo)電膠帶,工具 |
硬件特征:
全數(shù)字控制,專業(yè)級電子顯微成像儀器;
標(biāo)配SE探測器,選配BSE探測器 ;
可選樣品倉低真空環(huán)境功能,直接測試非導(dǎo)電樣品;
可選內(nèi)置一體化簡單易用EDS;
XYZ三軸大行程自動樣品臺,可選RT軸自動控制(降低Z軸行程);
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng);
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊,系統(tǒng)高度集成,良好散熱及電磁兼容性能;
輕質(zhì)合金外殼,數(shù)字加工成型,具有良好電磁屏蔽功能。